[实用新型]硅片自动蚀刻生产线

说明书

本实用新型公开了硅片自动蚀刻生产线，包括自动蚀刻生产线主体，所述自动蚀刻生产线主体的下端设置有固定底座，所述固定底座的上端设置有输送线，所述输送线的上端设置有一号升降台，所述一号升降台的上端外表面设置有一号真空吸盘，所述一号真空吸盘的上端外表面设置有硅片，所述一号真空吸盘的外侧设置有一号工装盘，所述一号工装盘的上端外表面设置有九宫格工装，所述九宫格工装的上端外表面设置有点胶阀，所述九宫格工装的内表面设置有点胶针头，所述气缸的上端设置有二号工装盘。本实用新型所述的硅片自动蚀刻生产线，通过结构和工艺的优化改进，可以提高了生产效率，方便了人们使用，节约了成本，带来更好的使用前景。

技术领域

本实用新型涉及自动蚀刻领域，特别涉及硅片自动蚀刻生产线。

背景技术

硅片自动蚀刻生产线是一种进行蚀刻反应、清洗、风干等工艺的支撑设备，由于目前光刻胶在完成光刻和显影工艺后，在蚀刻工艺阶段均采用人工手动浸泡蚀刻，这种生产方式效率低下，且蚀刻液浪费大，蚀刻产品质量不稳定，针对这些生产中出现的问题，因此设计出一套能替代人工蚀刻的自动化蚀刻生产线，随着科技的不断发展，人们对于自动蚀刻的制造工艺要求也越来越高。

现有的蚀刻在使用时存在一定的弊端，首先，蚀刻时是使用人工手动浸泡蚀刻，降低了生产方式效率，不利于人们的使用，还有，在使用的时候，蚀刻液浪费大，蚀刻产品质量不稳定，给人们的使用过程带来了一定的不利影响，为此，我们提出硅片自动蚀刻生产线。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了硅片自动蚀刻生产线，具备节约了能源、提高了质量与实用性强等优点，可以有效解决背景技术中的问题。

（二）技术方案

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：包括自动蚀刻生产线主体，所述自动蚀刻生产线主体的下端设置有固定底座，所述固定底座的上端设置有输送线，所述输送线的上端设置有一号升降台，所述一号升降台的上端外表面设置有一号真空吸盘，所述一号真空吸盘的上端外表面设置有硅片，所述一号真空吸盘的外侧设置有一号工装盘，所述一号工装盘的上端外表面设置有九宫格工装，所述九宫格工装的上端外表面设置有点胶阀，所述九宫格工装的内表面设置有点胶针头，所述点胶阀的上端设置有供胶系统，所述点胶阀的一侧设置有气缸，所述气缸的上端设置有二号工装盘，所述二号工装盘的下端外表面设置有升降平台，所述升降平台的下端设置有二号真空吸盘，所述二号工装盘的上端设置有升降喷淋系统，所述升降喷淋系统的一侧设置有纯净离子水供应系统，所述升降平台的一侧设置有二号升降台，所述二号升降台的上端设置有高压风机。

优选的，所述供胶系统的材质为304或316不锈钢桶，所述供胶系统的桶壁厚度为3-8mm，所述供胶系统的桶盖厚度为13-20mm，所述供胶系统的调压表为10bar，所述供胶系统的最大流体压力为7bar，所述供胶系统的出胶方式为上部或下部出胶。

优选的，所述升降平台的驱动设置为伺服电机系统，所述升降平台的机械设置为标准铝材件、304不锈钢与国标碳钢方通管。

优选的，所述升降平台的传动设置为行星减速机，所述升降平台的主要结构为滚珠丝杆。

优选的，所述自动蚀刻生产线主体的供电单相为220V，且外壳接地保护，所述自动蚀刻生产线主体的电源总挚设置有漏电保护功能。

优选的，所述自动蚀刻生产线主体的长度设置为2500mm，所述自动蚀刻生产线主体的宽度设置为722mm，所述自动蚀刻生产线主体的高度设置为1470mm。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了硅片自动蚀刻生产线，具备以下有益效果：