[实用新型]一种放空废气中硅烷回收系统

说明书

本实用新型公开了一种放空废气中硅烷回收系统，包括增压机、深冷装置和废气洗涤塔；增压机的入口与废气出口导通连接，用于对废气进行加压；增压机的第一出口与深冷装置的入口导通连接；深冷装置的气体出口与废气洗涤塔的入口导通连接，深冷装置的液体出口用于排出液体硅烷回收使用。放空废气中硅烷回收系统使用时，将废气输入增压机进行增压后，再进入深冷装置进行冷凝，冷凝后的液体硅烷用于回收使用，而剩余的气体进入废气洗涤塔进行洗涤。本实用新型通过现将废气增压，再进入深冷装置进行冷凝，提高了废气的冷凝率。

技术领域

本实用新型涉及尾气回收技术领域，尤其是涉及一种放空废气中硅烷回收系统。

背景技术

在多晶硅生产过程中包括还原、冷氢化、精馏、回收等多处工序产生的废气均通过尾气罐后进入深冷装置冷凝回收部分氯硅烷后再进入废气洗涤塔。

然而，由于深冷后的废气中含约3％左右的氯硅烷无法回收冷凝为液体，一方面造成氯硅烷损耗，另一方面会增加检修清堵的频次，排到大气中还会造成环境污染。

因此，如何提高废气在深冷装置内的冷凝率是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种放空废气中硅烷回收系统，能够提高废气在深冷装置内的冷凝率。

为了实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：

一种放空废气中硅烷回收系统，包括增压机、深冷装置和废气洗涤塔；

所述增压机的入口与废气出口导通连接，用于对所述废气进行加压；

所述增压机的第一出口与所述深冷装置的入口导通连接；

所述深冷装置的气体出口与所述废气洗涤塔的入口导通连接，所述深冷装置的液体出口用于排出液体硅烷回收使用。

在另一个具体的实施方案中，所述增压机为压缩机。

在另一个具体的实施方案中，所述放空废气中硅烷回收系统还包括调节阀；

所述调节阀的入口与所述压缩机的第二出口导通连接；

所述调节阀的出口与所述压缩机的入口导通连接。

在另一个具体的实施方案中，所述放空废气中硅烷回收系统还包括输送泵；

所述输送泵的入口与所述深冷装置的液体出口导通连接，所述输送泵用于将所述液体硅烷输送至待使用设备中回收使用。

在另一个具体的实施方案中，所述深冷装置的出口设置在所述深冷装置的底端。

在另一个具体的实施方案中，所述放空废气中硅烷回收系统还包括第一开关阀；

所述第一开关阀的出口与所述压缩机的入口导通连接；

所述第一开关阀的入口与所述废气出口导通连接。

在另一个具体的实施方案中，所述放空废气中硅烷回收系统还包括第二开关阀；

所述第二开关阀的入口与所述废气出口导通连接；

所述第二开关阀的出口与所述第一开关阀的入口导通连接。

在另一个具体的实施方案中，所述放空废气中硅烷回收系统还包括第三开关阀；

所述第三开关阀的入口与所述压缩机的第二出口导通连接；

所述第三开关阀的出口与所述调节阀的入口导通连接。

在另一个具体的实施方案中，所述放空废气中硅烷回收系统还包括温度调节装置；

所述温度调节装置用于控制所述深冷装置内的温度。