[实用新型]一种激光MEMS扫描成像的激光准直系统

说明书

本实用新型属于扫描微镜技术领域，具体涉及一种激光MEMS扫描成像的激光准直系统，包括：非球面准直透镜、曲面MEMS扫描微镜和成像接收面；光线从非球面准直透镜的直面端进入经过曲面MEMS扫描微镜到达成像接收面；本方案在保证MEMS扫描成像系统清晰成像的情况下，减小了系统的体积降低了系统成本。

技术领域

本实用新型属于扫描微镜技术领域，具体涉及一种激光MEMS扫描成像的激光准直系统。

背景技术

激光MEMS扫描技术，是基于MEMS(微机电系统)发展起来的新兴技术，基于 MEMS的优异性能和小型化结构，近几年MEMS扫描系统出现在很多领域，例如：激光雷达、激光投影、激光测距、激光美容等。

目前现有的MEMS扫描系统激光准直模块一般采用非球面柱面镜或棱镜对来减小激光器快轴和慢轴发散角不同所带来的像散，这样确实能够获得较好的成像质量，但是整个系统体积大成本高。

实用新型内容

为了解决现有技术中存在的上述问题，本实用新型提供了一种激光MEMS扫描成像的激光准直系统。本实用新型要解决的技术问题通过以下技术方案实现：

一种激光MEMS扫描成像的激光准直系统，包括：非球面准直透镜、曲面MEMS扫描微镜和成像接收面；光线从非球面准直透镜的直面端进入经过曲面MEMS扫描微镜到达成像接收面。

所述非球面准直透镜的参数与所选光源激光器参数、曲面MEMS扫描微镜的直径相配合。

所述曲面MEMS扫描微镜的表面曲率应结合扫描角度以及到像面的距离来补偿微镜扫描带来的像面弯曲。

本实用新型的有益效果：

本系统能够在低成本、小体积的情况下，通过MEMS微镜在像面扫描出清晰的图像；可用于多种投影场景，如：汽车抬头显示器可明显减小其体积。

以下将结合附图及实施例对本实用新型做进一步详细说明。

附图说明

图1是系统结构原理示意图。

图中：1、非球面准直透镜；2、曲面MEMS扫描微镜；3、成像接收面。

具体实施方式

为进一步阐述本实用新型达成预定目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及实施例对本实用新型的具体实施方式、结构特征及其功效，详细说明如下。

如图1所示，一种激光MEMS扫描成像的激光准直系统，包括：非球面准直透镜1、曲面MEMS扫描微镜2和成像接收面3；光线从非球面准直透镜的直面端进入经过曲面 MEMS扫描微镜2到达成像接收面3。

非球面准直透镜1的参数与所选光源激光器参数、曲面MEMS扫描微镜2的直径相配合。

曲面MEMS扫描微镜2的表面曲率应结合扫描角度以及到像面的距离来补偿微镜扫描带来的像面弯曲。

通过调整非球面准直透镜1参数、非球面准直透镜1到曲面MEMS扫描微镜2的距离，可以保证曲面MEMS扫描微镜2的直径小于到达曲面MEMS扫描微镜2的激光束直径，又能保证经过曲面MEMS扫描微镜2反射扫描的激光束成像清晰。

以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。