[实用新型]一种用于气相法制球形硅微粉的尾气处理装置

权利要求书

1.一种用于气相法制球形硅微粉的尾气处理装置，其特征在于：包括输气机构、除气罐，其中输气机构包括气筒、隔板、气缸，其中气筒是一端封闭的圆柱形结构，其封闭端朝下，气筒开口端垂直固定有气缸，气缸输出端朝下，运动方向与水平垂直，且气缸的输出端与隔板连接，隔板形状与气筒内壁的截面形状相同，能够在气筒中上下运动，气筒的封闭端连通有进气管、输气管，进气管用于接收废气，输气管将气筒与内筒连通，输气管位于内筒的一端位于内筒底部盛装的水面以下，且进气管以及输气管上均设置有单向阀；

所述除气罐包括：外罐壁、内筒、供水机构，其中外罐壁是一端为敞口的圆柱形罐体，其封口端朝下，封口端外设置有底盒，底盒中固定有磁力搅拌器；所述内筒包括：隔层、排气孔、一级排水管、转子，其中隔层将内筒分成上下两个部分，隔板上设置有连通上下两部分的气体通道，内筒的内侧顶面设置有排气孔以及喷头，且内筒侧面靠近上部分的底面设置有若干通孔，用于排出积存在内筒上部分的水，内筒下部分的侧壁上还设置有一级排水管，内筒下部分的底部还放置有转子，供水机构包括：进水管、布水盘、喷头，所述进水管一端与外界水源连通，另一端分别与布水盘连接，布水盘是固定在内筒顶面的储水盘，内筒顶面设置的喷头穿过内筒壁与布水盘连通。

2.根据权利要求1所述的一种用于气相法制球形硅微粉的尾气处理装置，其特征在于：所述隔层是空心板，隔层的空心部分与供水机构的进水管连通，且隔层底面固定有若干与隔层内部空腔连通的喷头。

3.根据权利要求1所述的一种用于气相法制球形硅微粉的尾气处理装置，其特征在于：所述气体通道的出气口高于隔层顶面。

4.根据权利要求1所述的一种用于气相法制球形硅微粉的尾气处理装置，其特征在于：所述隔层顶面为顶部向上凸起的弧面。