[实用新型]波导片检测装置有效
申请号: | 201922480345.2 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN211374004U | 公开(公告)日: | 2020-08-28 |
发明(设计)人: | 赵鑫;郑昱 | 申请(专利权)人: | 北京灵犀微光科技有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 | 代理人: | 宋卉;陈亚斌 |
地址: | 100083 北京市海淀区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 波导 检测 装置 | ||
1.一种波导片检测装置,包括激光发射器,波导片夹持器,出射光传感器和处理器,其中:
所述激光发射器,用于向所述波导片发射准直光束;
所述波导片夹持器,用于夹持所述波导片,控制所述激光发射器产生的准直光束和所述波导片之间的位置关系;
所述出射光传感器,用于探测穿过所述波导片后的光斑;
所述处理器,用于根据所述光斑,确定所述波导片的性能。
2.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述激光发射器还用于控制准直光束的出射方向、偏振、光强或波长中的一项或多项。
3.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述波导片夹持器还用于控制所述波导片的方向、位置和角度。
4.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述出射光传感器包括光斑显示系统或光电探测器。
5.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述处理器还用于根据所述光斑的位置、光强或相位,确定所述波导片的性能。
6.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述检测装置还包括:
光路调节器,设置于所述激光发射器和所述波导片夹持器之间,用于控制准直光束的出射方向、偏振、光强或光束大小中的一项或多项。
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