[实用新型]一种ITO薄膜均匀镀膜装置

权利要求书

1.一种ITO薄膜均匀镀膜装置，包括镀膜箱、过滤箱、镀膜装置、注液装置和过滤装置；其特征在于，所述镀膜箱(1)的上端设有过滤箱(11)，且镀膜箱(1)的内部上端设有注液装置，镀膜箱(1)的内部下端设有镀膜装置，且过滤箱(11)的内部设有过滤装置；所述镀膜装置包括镀膜池(3)、支撑板(2)、注液板(4)和排液口(5)；所述镀膜箱(1)内部下端的左侧设有支撑板(2)，且镀膜箱(1)内部下端的右侧设有镀膜池(3)，镀膜池(3)的内部下侧设有倾斜状的注液板(4)，且镀膜池(3)的右端下侧与注液板(4)的对应处设有排液口(5)，且排液口(5)的一侧端部贯穿延伸至镀膜箱(1)的外端下侧。

2.根据权利要求1所述的一种ITO薄膜均匀镀膜装置，其特征在于，所述注液装置包括支撑架(7)、注液口(6)、镀膜液喷淋管(8)和转动杆(9)；所述支撑板(2)的上侧端部设有支撑架(7)，且支撑架(7)的上侧端部设有安装套(10)，安装套(10)的内部贯穿连接转动杆(9)，且支撑架(7)上贯穿设有注液口(6)，且注液口(6)的左侧端部贯穿延伸至镀膜箱(1)的外端外侧，且注液口(6)的右侧端部设有倾斜状的与镀膜池(3)对应设置的镀膜液喷淋管。

3.根据权利要求1所述的一种ITO薄膜均匀镀膜装置，其特征在于，所述过滤装置包括下过滤网(15)、网板(16)、导热板(19)和冷却管(20)；所述过滤箱(11)的内部下端的设有下过滤网(15)，且下过滤网(15)的上侧端部设有若干个倾斜设置的网板(16)，且网板(16)的上侧端部均设有倾斜状的导热板(19)，导热板(19)的相邻之间均设有冷却管(20)，且网板(16)的内部均设有无纺布(17)，且网板(16)的相邻之间均设有下导流通道(18)，导热板(19)的相邻之间均设有上导流通道(21)，过滤箱(11)的内部上端是上过滤网(22)。

4.根据权利要求1所述的一种ITO薄膜均匀镀膜装置，其特征在于，所述过滤箱(11)的下侧端部与镀膜箱(1)的连接之间设有贯通管(12)。

5.根据权利要求1所述的一种ITO薄膜均匀镀膜装置，其特征在于，所述过滤箱(11)的上侧端部设有排出管(14)，且排出管(14)上设有抽真空泵(13)。

6.根据权利要求3所述的一种ITO薄膜均匀镀膜装置，其特征在于，所述导热板(19)和冷却管(20)均可为铝制或铜制。

7.根据权利要求5所述的一种ITO薄膜均匀镀膜装置，其特征在于，所述抽真空泵(13)与外部电源和外部单片机电性连接，且外部单片机的型号为STM32。