[实用新型]位移测量传感装置和位移测量传感系统

说明书

本实用新型公开一种位移测量传感装置和位移测量传感系统。其中，该位移测量传感装置包括：光线发生模块、光路模块、响应模块以及检测模块。光线发生模块用于生成不同波长的至少两束光束；光路模块与光线发生模块的光线输出端正对设置，光路模块对传入的光束进行相位调制形成多个检测光束，并传出多个检测光束；响应模块与光路模块对应设置，响应模块用于承载物体，多个检测光束照射至响应模块和物体；检测模块对应响应模块设置，用于获取响应模块和/或物体反射的光线。本实用新型位移测量传感装置提高光学成像的精准度。

技术领域

本实用新型涉及光学检测设备技术领域，特别涉及一种位移测量传感装置和应用该位移测量传感装置的位移测量传感系统。

背景技术

随着科技的发展，人们需求的不断提高，超分辨位移传感将成为一大需求。传统的位移传感技术主要分为两大类：电位移传感技术和光位移传感技术，其中电位移传感器的抗干扰和简便性强，而分辨率和灵敏度较差。而光学位移传感在分辨率和灵敏度先天占优势，因此在位移传感技术的发展中，光学手段将成为主流方向。光有三个维度信息：振幅、相位和偏振，传统的光学位移传感主要利用光的振幅和相位，例如显微镜和迈克尔逊干涉仪等设备。但是传统的光学手段存在一定的局限性，由于单色光存在一定的干涉，在一个维度能够实现超分辨，精确度较差。

上述内容仅用于辅助理解本申请的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出一种位移测量传感装置，旨在提高光学成像的精确度。

为实现上述目的，本实用新型提出的位移测量传感装置包括：

光线发生模块，所述光线发生模块用于生成不同波长的至少两束光束；

光路模块，所述光路模块与所述光线发生模块的光线输出端正对设置，所述光路模块对传入的光束进行相位调制形成多个检测光束，并传出多个检测光束；

响应模块，所述响应模块与所述光路模块对应设置，所述响应模块用于承载物体，多个所述检测光束照射至所述响应模块和物体；以及

检测模块，所述检测模块对应所述响应模块设置，用于获取所述响应模块和/或物体反射的光线。

在本实用新型的一实施例中，所述光线发生模块设置有两个光线发生器，两个所述光线发生器生成两个波长不同的光束；

且/或，定义所述光路模块至所述响应模块的光路为第一光路，所述响应模块至所述检测模块的光路为第二光路，所述第一光路和所述第二光路呈夹角设置。

在本实用新型的一实施例中，所述光路模块包括第一偏振片、液晶相位调制片以及聚焦透镜，所述第一偏振片、所述液晶相位调制片以及所述聚焦透镜依次平行排列，所述第一偏振片邻近所述光线发生模块设置，所述聚焦透镜邻近所述响应模块设置；

所述第一偏振片用于过滤光束，以保留自光路模块至所述响应模块的光束；

所述液晶相位调制片用于对所述第一偏振片过滤后的光束进行相位调制；

所述聚焦透镜用于对相位调制后的光束进行聚焦，以形成所述检测光束。

在本实用新型的一实施例中，所述第一偏振片面向所述液晶相位调制片的一侧面与所述液晶相位调制片贴合设置；

或者，所述液晶相位调制片面向所述聚焦透镜的一侧面与所述聚焦透镜贴合设置。

或者，所述第一偏振片、所述液晶相位调制片以及所述聚焦透镜依次贴合。

在本实用新型的一实施例中，所述响应模块与所述聚焦透镜呈平行设置。

在本实用新型的一实施例中，所述响应模块设置有反射平面，所述反射平面位于所述聚焦透镜的焦距处，所述反射平面用于承载物体。