[实用新型]蒸发源的加热装置和蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸发源的加热装置，其特征在于，包括：

加热箱体，所述加热箱体具有容纳腔室，用于容纳蒸发源，至少部分所述加热箱体设有热传递部，用于使所述热传递部与蒸发源之间发生热传递；

加热件，设置于所述加热箱体，用于产生热辐射；

温控机构，设置于所述加热箱体，并与所述加热件电连接，用于监测蒸发源的温度和控制加热件产生的热量。

2.根据权利要求1所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述温控机构包括控制器和多组温度传感器，多组所述温度传感器分别设置于所述加热箱体的不同位置，所述控制器分别与所述温度传感器和所述加热件电连接。

3.根据权利要求1所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述加热箱体包括底壁和多个侧壁，多个所述侧壁和底壁围构形成容纳腔室；

所述温控机构包括多组温度传感器，多组所述温度传感器分别设置于多个所述侧壁的不同位置。

4.根据权利要求3所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述侧壁包括平行设置的第一侧壁和第二侧壁，平行设置的第三侧壁和第四侧壁；

所述温度传感器为至少四组，四组所述温度传感分别设置于所述第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁的内侧。

5.根据权利要求4所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述加热箱体呈长方体形，所述第一侧壁和第二侧壁的面积大于所述第三侧壁和第四侧壁的面积；

所述温度传感器包括第一组温度传感器、第二组温度传感器、第三组温度传感器和第四组温度传感器，所述第一组温度传感器设置于第一侧壁的内侧中部，且靠近底壁位置处，所述第二组温度传感器设置于第二侧壁的内侧中部，且远离底壁位置处，所述第三组温度传感器设置于第三侧壁的内侧，所述第四组温度传感器设置于第四侧壁的内侧。

6.根据权利要求1-5任一项所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述热传递部包括反射部，所述加热箱体的底壁和多个侧壁均设置有所述反射部。

7.根据权利要求6所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述反射部为反射板，所述底壁和多个所述侧壁由所述反射板所形成。

8.根据权利要求6所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述反射部为反射层，所述底壁和多个所述侧壁的内侧设有所述反射层。

9.根据权利要求1-5任一项所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述加热件包括第一加热件和第二加热件，所述第一加热件位于所述加热箱体的上部，所述第二加热件位于所述加热箱体的下部。

10.一种蒸镀设备，包括蒸发源，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的蒸发源的加热装置。