[实用新型]一种振动电极式静电检测装置有效

专利信息
申请号: 201922491645.0 申请日: 2019-12-30
公开(公告)号: CN211718397U 公开(公告)日: 2020-10-20
发明(设计)人: 孙卫星;李鹏;杨庆瑞;罗先军 申请(专利权)人: 上海安平静电科技有限公司
主分类号: G01R29/24 分类号: G01R29/24
代理公司: 上海三和万国知识产权代理事务所(普通合伙) 31230 代理人: 蔡海淳
地址: 201100 上海市闵行*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 振动 电极 静电 检测 装置
【说明书】:

一种振动电极式静电检测装置,属静电检测领域。在屏蔽装置前端设置一个罩状金属质前置静电感应电极,前置静电感应电极将振动电极的至少一部分罩在其内部的立体空间中;前置静电感应电极与金属质静电信号接收电极的形状、结构相匹配,且两者的中心点重合;前置静电感应电极与屏蔽装置之间电绝缘地连接、固定在一起。其通过设置罩状的前置静电感应电极,使得振动电极处于完全屏蔽状态,起到屏蔽外界阶跃信号的作用,能增加静电检测装置的检测精确度,通过设置三维结构的罩状前置静电感应电极,来实现三维曲面上的静电荷检测。可广泛用于静电检测装置的设计和制造领域。可广泛用于静电检测装置的设计和制造领域。

技术领域

本实用新型属于静电测量领域,尤其涉及一种用于测量静电的检测装置。

背景技术

静电传感器和/或静电检测表是监测物体表面静电的专用、精密仪表,对静电测量及防护起着非常重要的作用。

在电子工厂的生产线上,针对产品进行静电监测是防止产品免受静电放电危害,确保产品质量的重要保证。在易燃易爆工况环境,静电放电极易引起燃烧、爆炸,故针对静电的监测尤为重要,已成为安全生产的必要措施。因此,随着行业发展,对静电传感器和/或静电检测表的功能、性能要求逐步提高,以确保静电监测数据的准确可靠。

静电传感器和/或静电检测表都包含振动检测模块,其是对外界静电源进行探测、接收、传感的重要物理基础,其典型结构为一对称的金属振动电极(参见本申请人此前申请的专利号为CN201110300083.2的中国发明专利及CN209486193U的实用新型专利的相关内容)。

现有的静电传感器和/或静电检测表,其振动电极所在的探测窗口直接对外界物体表面静电荷进行探测,其探测、接收性能与如下因素有关:

1、屏蔽深度H,对振动电极2的探测灵敏度有重大的影响;屏蔽深度越大对外界阶跃信号(如:随机动态信号,瞬态过电压等)越起到良好的屏蔽效果,但很容易导致其对外界静电信号检测灵敏度的急剧下降,即使其接收外界静电信号的能力变弱了;

而屏蔽深度越小,会产生2种结果:A)探测灵敏度会增大,对物体表面的检测范围会变大,但会降低测试的精确度,即使其对物体表面静电荷平面分布状况的分辨能力较低;B)外界阶跃信号对其干扰也越大,也会降低测试的准确度、精确度。图1所示是静电传感器屏蔽深度的说明示意图。

2、屏蔽结构,对静电源和空间电荷与接地屏蔽装置及振动电极之间的电场分布产生重要的影响,屏蔽结构设置不合理极易导致对静电信号检测的非线性失真。

基于上述因素,现有静电传感器和/或静电检测表仍存在着如下技术缺陷:

1)振动电极紧挨屏蔽装置,屏蔽深度过浅,测试精确度较低,即对物体表面静电荷平面分布状况的分辨能力较低。

2)现有静电传感器和/或检测表针对振动电极的屏蔽不是完全屏蔽,均存在探测窗口,无法完全屏蔽掉外界阶跃信号。

3)检测对象只针对二维平面内的静电荷,而被检测物体为三维曲面时,则无法方便的对其进行同时检测,或对其进行综合检测。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种振动电极式静电检测装置。其在原有的振动电极的基础上增加一个与外部电绝缘的罩型的金属质前置静电感应电极,用来感应外界静电源信号,同时也起到屏蔽外界阶跃信号的作用,再结合原有的振动电极屏蔽结构,这样振动电极就处于完全屏蔽状态;因振动电极前方无接地屏蔽装置,直接对静电感应电极进行检测,也加大了检测灵敏度。同时,其前置静电感应电极为三维结构,也可以解决三维曲面上的静电荷检测问题。

本实用新型的技术方案是:提供一种振动电极式静电检测装置,包括屏蔽装置和位于屏蔽装置中的振动电极,其特征是:

在屏蔽装置的前端,设置一个罩状的金属质前置静电感应电极;

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