[实用新型]一种用于纤维的在线式次真空等离子处理装置

权利要求书

1.一种用于纤维的在线式次真空等离子处理装置，其包括真空抽气接头(3)、密封接头(4)、放电单元及支撑单元；其特征在于，所述放电单元包括正极连接板(5)、负极连接板(6)、玻璃管(7)、绝缘板(8)；所述支撑单元包括支撑架(9)、中央支座(10)、端头支座(11)、底座(14)；所述正极连接板(5)和绝缘板(8)连接，所述负极连接板(6)与支撑架(9)连接，所述玻璃管(7)一端与真空抽气接头(3)连接，一端与密封接头(4)连接，所述真空抽气接头(3)设置于中央支座(10)上，所述密封接头(4)设置于端头支座(11)上。

2.如权利要求1所述的用于纤维的在线式次真空等离子处理装置，其特征在于，所述真空抽气接头(3)为一个，所述密封接头(4)为两个，所述放电单元为两套，所述支撑单元为一套。

3.如权利要求1或2所述的用于纤维的在线式次真空等离子处理装置，其特征在于，正极连接板(5)和绝缘板(8)之间采用机械连接方式，该机械连接方式为：在绝缘板(8)上临近凹槽边缘的位置处设置有通孔，所述通孔内设置有端子压紧螺母(16)，通过绝缘螺钉(15)穿过通孔与端子压紧螺母(16)拧紧，并使得绝缘螺钉(15)的头部伸出于凹槽上方；安装时，将正极连接板(5)放置于凹槽内，再将绝缘螺钉(15)穿过通孔与端子压紧螺母(16)拧紧，此时，绝缘螺钉(15)的头部卡设于正极连接板(5)上表面边缘，使得正极连接板(5)固定于凹槽内。

4.如权利要求3所述的用于纤维的在线式次真空等离子处理装置，其特征在于，所述负极连接板(6)为截面L形的长条形结构；所述负极连接板(6)的一侧边固定于支撑架(9)的侧边上，所述负极连接板(6)的另一侧边位于正对正极连接板(5)的上方位置；所述负极连接板(6)与正极连接板(5)不直接连接。

5.如权利要求4所述的用于纤维的在线式次真空等离子处理装置，其特征在于，负极连接板(6)的一侧边与支撑架(9)之间采用机械连接的方式，该机械连接方式为：通过连接板固定螺钉(13)穿过负极连接板(6)固定于支撑架(9)上。

6.如权利要求2所述的用于纤维的在线式次真空等离子处理装置，其特征在于，真空抽气接头(3)为三通管件T型结构，其左右两端与玻璃管(7)相连，垂直端与真空泵相连。

7.如权利要求2所述的用于纤维的在线式次真空等离子处理装置，其特征在于，所述玻璃管(7)位于正极连接板(5)和负极连接板(6)之间，玻璃管(7)、真空抽气接头(3)、密封接头(4)共同构成次真空等离子处理装置的处理组件。

8.如权利要求7所述的用于纤维的在线式次真空等离子处理装置，其特征在于，所述真空抽气接头(3)和中央支座(10)之间、密封接头(4)和端头支座(11)之间均采用机械连接的方式，该机械连接方式为：通过支座固定螺钉(12)穿过中央支座(10)与端头支座(11)固定于真空抽气接头(3)与密封接头(4)上。

9.如权利要求7或8所述的用于纤维的在线式次真空等离子处理装置，其特征在于，所述密封接头(4)开孔，所述密封接头(4)的孔径比纤维直径大0.02～0.05mm。