[实用新型]一种MEMS扬声器

权利要求书

1.一种MEMS扬声器，其特征在于，包括：

贯穿开设有收容腔的基座，所述基座的内壁围成所述收容腔；以及

依次设于所述收容腔中的活塞膜、传动件、柔性导向机构、连接柱以及驱动机构，所述连接柱连接于所述柔性导向机构与所述驱动机构之间，所述传动件夹设于所述柔性导向机构与所述活塞膜之间，所述活塞膜与所述内壁相间隔，所述柔性导向机构包括嵌设于所述基座的固定部、悬置于所述收容腔内的耦合连接部以及连接在所述固定部与所述耦合连接部之间的弹性支撑件，所述耦合连接部用于驱动所述活塞膜运动并与所述内壁间隔设置，所述驱动机构与所述内壁固定连接。

2.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述驱动机构包括自所述内壁的相对两侧沿相反方向分别朝对侧延伸且间隔相对设置的驱动组件和连接于相对两所述驱动组件之间的柔性连接梁，所述驱动组件远离所述柔性连接梁的一端与所述基座固定连接，且每个所述驱动组件都通过所述连接柱与所述耦合连接部连接。

3.根据权利要求2所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述柔性连接梁呈长条形或者S形。

4.根据权利要求2所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述驱动组件为压电膜。

5.根据权利要求2所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述驱动组件包括第一驱动部和间隔设于所述第一驱动部两侧的第二驱动部，所述第一驱动部的一端与所述柔性连接梁连接、另一端与所述内壁相间隔并通过所述连接柱与所述耦合连接部连接，所述第二驱动部的两端分别与所述基座和所述柔性连接梁连接。

6.根据权利要求2所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述驱动组件包括第一驱动部和间隔设于所述第一驱动部两侧的第二驱动部，所述第一驱动部的两端分别与所述基座和所述柔性连接梁连接，所述第一驱动部的一端与所述柔性连接梁连接、另一端与所述内壁相间隔并通过所述连接柱与所述耦合连接部连接。

7.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述弹性支撑件设有若干个，若干个所述弹性支撑件对称设置于所述耦合连接部外周，每一所述弹性支撑件都包括镜像对称且间隔设置的两个缓冲弹片。

8.根据权利要求7所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述缓冲弹片呈蛇形延伸。

9.根据权利要求7所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述基座包括依次层叠设置的基底、支撑部以及盖体，所述基底、支撑部以及盖体围合形成所述收容腔，所述固定部夹设于所述基底与所述支撑部之间，所述盖体绕设于所述活塞膜外周并与所述活塞膜间隔设置。

10.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述传动件呈板状且在所述固定部上的正投影完全落入所述固定部内。