[实用新型]一种MEMS扬声器

权利要求书

1.一种MEMS扬声器，其特征在于，包括贯穿形成有收容腔的基板、固定于所述基板的驱动机构、与所述驱动机构相对且间隔设置并位于所述收容腔内的活塞振动机构以及用于连接所述驱动机构与所述活塞振动机构的传动件，所述基板包括围成所述收容腔的环形周壁，所述活塞振动机构与所述周壁之间间隔设置有缝隙，所述驱动机构包括振动板和设置于所述振动板的第一致动器，所述第一致动器驱动所述振动板振动；所述活塞振动机构包括活塞膜以及设置于所述活塞膜上的第二致动器，所述第二致动器驱动所述活塞膜振动，所述驱动机构经所述传动件进一步推动所述活塞膜。

2.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述第一致动器与所述第二致动器均为压电片且所述第一致动器与所述第二致动器经由所述传动件电连接。

3.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述驱动机构包括自所述周壁延伸至所述收容腔内的延伸臂、自所述延伸臂远离所述周壁的一端延伸的悬臂梁，所述悬臂梁与所述周壁间隔设置，所述传动件连接在所述悬臂梁与所述活塞振动机构之间。

4.根据权利要求3所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述延伸臂的相对两端跨接在所述周壁的相对两侧，所述悬臂梁自所述延伸臂沿垂直于所述延伸臂的方向延伸。

5.根据权利要求3所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述延伸臂包括分别自相对两所述周壁朝对侧延伸的延伸子臂，相对两所述延伸子臂相互间隔设置，所述悬臂梁自所述延伸子臂远离所述周壁的一侧朝与所述延伸子臂相反的方向弯折延伸并与所述延伸子臂间隔设置。

6.根据权利要求5所述的MEMS扬声器，其特征在于，每一所述延伸子臂的相对两侧均间隔形成所述悬臂梁，所述悬臂梁与所述传动件一一对应设置。

7.根据权利要求3所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述悬臂梁分别自所述延伸臂远离所述周壁的一端进一步朝对侧延伸，相对两所述悬臂梁间隔设置，所述传动件跨接于相对两所述悬臂梁之间并夹设于所述悬臂梁与所述活塞振动机构之间。

8.根据权利要求7所述的MEMS扬声器，其特征在于，传动件呈柱状并与所述活塞振动机构的中心轴线重合。

9.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述活塞振动机构包括与所述传动件连接的锚定部以及自所述锚定部延伸的活动部。

10.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述缝隙小于等于100微米。

11.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，活塞振动机构包括与所述驱动机构平行的本体部以及自所述本体部边缘朝所述驱动机构延伸的侧板，所述侧板与所述周壁之间间隔，且所述侧板与所述周壁之间的距离小于等于所述缝隙。