[实用新型]压电MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201922501160.5 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211296939U | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 童贝;石正雨;沈宇;李杨 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 谷孝东 |
| 地址： | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 mems 麦克风 | ||
1.一种压电MEMS麦克风，其特征在于，具有背腔的基底、悬置于所述背腔的振膜以及连接在所述振膜与所述基底之间的弹性支撑件，所述振膜沿所述振膜的振动方向的两侧分别设有第一压电膜片和第二压电膜片，所述第二压电膜片与所述第一压电膜片并联。
2.根据权利要求1所述的压电MEMS麦克风，其特征在于：所述第一压电膜片与所述第二压电膜片结构相同。
3.根据权利要求1所述的压电MEMS麦克风，其特征在于：所述第一压电膜片与所述第二压电膜片正对且对称设置在所述振膜两侧。
4.根据权利要求2所述的压电MEMS麦克风，其特征在于：所述第一压电膜片呈圆形、矩形或正方形。
5.根据权利要求1所述的压电MEMS麦克风，其特征在于：所述第一压电膜片结构包括两电极层和夹设于所述两电极层之间的压电层。
6.根据权利要求1所述的压电MEMS麦克风，其特征在于：所述弹性支撑件自所述振膜边缘朝所述基底方向延伸，所述基底对应所述弹性支撑件凹陷形成避让部，所述弹性支撑件收容于所述避让部内。
7.根据权利要求6所述的压电MEMS麦克风，其特征在于：所述弹性支撑件包括自所述振膜边缘朝所述基底方向延伸并与所述基底间隔设置的延伸臂以及自所述延伸臂远离所述振膜的一端弯折延伸并与所述基底连接的连接臂。
8.根据权利要求7所述的压电MEMS麦克风，其特征在于，所述连接臂分别形成在所述延伸臂的相对两侧。
9.根据权利要求7所述的压电MEMS麦克风，其特征在于，每一所述连接臂包括至少一条与所述延伸臂平行的连接条。
10.根据权利要求1所述的压电MEMS麦克风，其特征在于，至少两个所述弹性支撑件对称连接在所述振膜外周。
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