[实用新型]一种抛光头装置及抛光机

权利要求书

1.一种抛光头装置，其特征在于，包括：

基座(2)，所述基座(2)的一侧可拆卸连接于外部动力件，所述基座(2)内设置有气通道；

转轴(3)，其一端连接于所述基座(2)的另一侧；

抛光头组件，连接于所述转轴(3)的另一端并能够随所述转轴(3)一起转动，同时，所述抛光头组件能够沿所述转轴(3)的轴向往复运动，且能够相对于所述转轴(3)摆动；

弹性件(5)，所述弹性件(5)的边缘贴设于基座(2)的一侧表面，且能够与所述基座(2)围成密封空间；

所述密封空间未充气时，所述抛光头组件能够被待抛光的硅片(14)挤压沿所述转轴(3)的轴向向靠近所述基座(2)的方向运动；

所述气通道向所述密封空间充气时，使所述弹性件(5)鼓胀，能够驱动所述抛光头组件沿所述转轴(3)的轴向向远离所述基座(2)的方向运动。

2.根据权利要求1所述的抛光头装置，其特征在于，所述抛光头装置还包括第一压止件(7)和第二压止件(6)，所述第一压止件(7)和所述第二压止件(6)均连接于所述基座(2)；

所述第一压止件(7)套设于所述第二压止件(6)，所述第一压止件(7)和所述第二压止件(6)配合压紧所述弹性件(5)的边缘，形成所述密封空间。

3.根据权利要求1所述的抛光头装置，其特征在于，所述抛光头装置还包括：

安装法兰(1)，连接于所述基座(2)，所述安装法兰(1)和所述转轴(3)分别连接于所述基座(2)的两侧，所述安装法兰(1)与所述外部动力件通过法兰抱箍连接。

4.根据权利要求1所述的抛光头装置，其特征在于，所述抛光头组件包括：

第一导向件(9)，所述第一导向件(9)上设置有内齿轮，所述转轴(3)上设置有与所述内齿轮配合连接的外齿轮，且所述内齿轮和所述外齿轮之间沿所述转轴(3)的径向设置有第一间隙；

抛光板(10)，连接于所述第一导向件(9)，所述弹性件(5)鼓胀能够驱动所述抛光板(10)沿所述转轴(3)的轴向运动。

5.根据权利要求4所述的抛光头装置，其特征在于，所述转轴(3)的一端固定设置有第二导向件(4)，所述第二导向件(4)上设置所述外齿轮。

6.根据权利要求4所述的抛光头装置，其特征在于，所述抛光头组件还包括套设并能够钩挂于所述转轴(3)上的挡环(8)，所述第一导向件(9)连接于所述挡环(8)，所述挡环(8)的内壁和所述转轴(3)外壁之间设置有第二间隙。

7.根据权利要求5所述的抛光头装置，其特征在于，所述抛光头组件还包括连接于所述抛光板(10)的中间连接件(11)，所述弹性件(5)鼓胀挤压所述中间连接件(11)和所述抛光板(10)同步沿所述转轴(3)的轴向运动。

8.根据权利要求7所述的抛光头装置，其特征在于，所述抛光头装置还包括：

第一防水件(13)，扣设于所述基座(2)外部，且环绕于所述中间连接件(11)的外周；

第二防水件(12)，连接于所述中间连接件(11)，所述第一防水件(13)和第二防水件(12)之间沿所述转轴(3)的径向设置有第三间隙。

9.根据权利要求8所述的抛光头装置，其特征在于，所述抛光头装置还包括控制器，所述控制器控制所述动力件向所述密封空间的充气压力。

10.一种抛光机，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的抛光头装置。