[发明专利]还原气体供给装置及经处理的对象物的制造方法

权利要求书

1.一种还原气体供给装置，具备：

腔室，形成对象物进行焊接的空间；

气化器，在所述腔室内生成被供给的还原气体，该气化器导入成为所述还原气体之前的还原液体并使其气化，而生成所述还原气体；

中间容器，在将收容有所述还原液体的还原液体瓶内的所述还原液体导入于所述气化器之前，暂时贮存还原液体；

输送管，将所述还原液体瓶内的所述还原液体导引至所述中间容器；

供给管，将所述中间容器内的所述还原液体导引至所述气化器；

输送部，将所述还原液体瓶内的所述还原液体移送至所述中间容器；

供给部，将所述中间容器内的所述还原液体移送至所述气化器；

其中，所述输送部经由与使所述中间容器的内部呈负压的真空泵连接的真空管，通过所述真空泵的运行将所述中间容器的内部的气体排出。

2.根据权利要求1所述的还原气体供给装置，其中，所述供给部包含将所述中间容器的内部进行加压的加压部而构成。

3.根据权利要求1所述的还原气体供给装置，其中，所述还原气体供给装置具备所述还原液体瓶，且所述还原液体瓶具有在所述还原液体瓶的内部成为负压时通过附止回阀的过滤器而摄入外部气体的瓶盖。

4.根据权利要求1所述的还原气体供给装置，其中，所述还原气体供给装置具备：

高液位检测器，检测所述中间容器的内部的所述还原液体的液面达到预先设定的高液位；

第一控制部，在所述高液位检测器检测到所述高液位时，以停止将所述还原液体瓶内的所述还原液体往所述中间容器移送的方式来控制所述输送部。

5.根据权利要求4所述的还原气体供给装置，其中，所述还原气体供给装置具备：

低液位检测器，其检测所述中间容器的内部的所述还原液体的液面达到预先设定的低液位；

第二控制部，在所述低液位检测器检测到所述低液位时，以停止将所述中间容器内的所述还原液体往所述气化器移送的方式来控制所述供给部。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的还原气体供给装置，其中，所述还原气体供给装置具备：

压力检测器，检测所述腔室内的压力；

第三控制部，以依照所述压力检测器检测到的压力而调节移送至所述气化器的所述还原液体的量的方式来控制所述供给部。

7.一种经处理的对象物的制造方法，使用权利要求1至6中任一项所述的还原气体供给装置来制造在所述对象物进行焊接后的经处理的对象物的方法，具备：

对所述腔室内供给所述对象物的步骤；

对所述腔室内供给所述还原气体，同时进行所述对象物的焊接的步骤；

将进行所述焊接后的所述对象物从所述腔室取出的步骤。