[发明专利]掩模板及其制作方法、显示基板的制作方法

说明书

一种掩模板及其制作方法以及显示基板的制作方法。该掩模板包括：在第一方向上彼此相对的第一夹持区、第二夹持区，以及位于第一夹持区和第二夹持区之间的至少一个网孔区，网孔区呈第一形状，在掩模板受到沿第一方向的拉力时，网孔区呈目标形状，目标形状与第一形状不同，该目标形状为多边形、圆形或者椭圆形。该掩模板在拉伸后具有目标形状，因此该掩模板形成的掩模装置具有较高的精度。

技术领域

本公开的实施例涉及一种掩模板及其制作方法、显示基板的制作方法。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示装置具有自发光、对比度高、清晰度高、视角宽、功耗低、响应速度快、以及制造成本低等一系列优势，已经成为新一代显示装置的重点发展方向之一，因此受到越来越多的关注。

OLED显示装置的有机发光材料等功能层通常利用高精度金属掩模板(Fine MetalMask,FMM)通过蒸镀等方式制备，因此，FMM的精细程度决定了上述有机发光材料等功能层的形成精度。

发明内容

本公开至少一实施例提供一种掩模板，该掩模板包括：在第一方向上彼此相对的第一夹持区、第二夹持区，以及位于所述第一夹持区和所述第二夹持区之间的至少一个网孔区，其中，所述网孔区呈第一形状，在所述掩模板受到沿所述第一方向的拉力时，所述网孔区呈目标形状，所述目标形状与所述第一形状不同，所述目标形状为多边形、圆形或者椭圆形。

例如，本公开至少一实施例提供的掩模板中，所述第一形状包括：大致沿所述第一方向延伸且相对设置的第一边和第二边，以及连接在所述第一边和所述第二边之间的第三边和第四边；所述第一边和第二边向远离所述第一形状的中心的方向凸出，所述第三边和第四边向靠近所述第一形状的中心的方向凹陷。

例如，本公开至少一实施例提供的掩模板中，所述第一边包括第一端、第二端以及所述第一端和所述第二端之间的第一中点，所述第二边包括第三端、第四端以及所述第三端和所述第四端之间的第二中点，所述第一中点和所述第二中点的连线为第一连线，所述第一连线垂直于所述第一方向，所述第一连线的长度大于所述第一端和所述第三端的连线的长度，并且所述第一连线的长度还大于所述第二端与所述第四端的连线的长度；所述第三边连接所述第一端和所述第三端，所述第四边连接所述第二端与所述第四端，所述第三边的中点与所述第四边的中点的连线为第二连线，所述第二连线的长度小于所述第一端和所述第二端的连线的长度，并且所述第二连线的长度还小于所述第三端和所述第四端的连线的长度，所述第二连线穿过所述第一连线的中点；所述网孔区的目标形状为矩形。

例如，本公开至少一实施例提供的掩模板中，所述网孔区包括多个第一子开口，当所述网孔区呈所述目标形状时，所述多个第一子开口排布为规则阵列形式。

例如，本公开至少一实施例提供的掩模板还包括第一虚设网孔区和第二虚设网孔区，所述第一虚设网孔区设置在所述第一夹持区和所述网孔区之间，所述第二虚设网孔区设置在所述第二夹持区和所述网孔区之间。

本公开至少一实施例提供一种掩模板的制作方法，该制作方法包括：提供测试掩模板，所述测试掩模板包括在第一方向上彼此相对的第一夹持区、第二夹持区，还包括位于所述第一夹持区和所述第二夹持区之间的至少一个网孔区，所述至少一个网孔区呈目标形状；获取所述网孔区在所述测试掩模板在沿所述第一方向被拉伸状态下的变形状态信息，根据所述变形状态信息，获取用于所述网孔区的反向补偿信息，并且基于所述反向补偿信息获得所述网孔区的目标初始状态信息，以及根据所述目标初始状态信息制作掩模板，制作得到的所述掩模板的至少一个网孔区呈第一形状。

例如，本公开至少一实施例提供的制作方法中，通过仿真模拟的方式获取所述变形状态信息。

例如，本公开至少一实施例提供的制作方法中，所述变形状态信息包括所述网孔区在多个位置的变形方式和/或变形量。