[发明专利]一种LED巨量转移的方法及装置

权利要求书

1.一种LED巨量转移的方法，其特征在于，包括：

检测并获取载体基板上损坏LED的位置信息；

根据所述位置信息对所述载体基板进行相应的光束照射，使得照射后的所述损坏LED与所述载体基板分离；

将所述光束照射后保留在所述载体基板上的未损坏LED转移至目标基板上。

2.根据权利要求1所述的LED巨量转移的方法，其特征在于，所述根据所述位置信息对所述载体基板进行相应的光束照射的步骤包括：

利用空间光调制器根据所述位置信息对照射光束进行调节；

使用调节后的所述光束对所述载体基板进行相应的照射。

3.根据权利要求2所述的LED巨量转移的方法，其特征在于，所述空间光调制器为透射式空间光调制器、反射式空间光调制器或数字微反射镜中的一种。

4.根据权利要求3所述的LED巨量转移的方法，其特征在于，当所述空间光调制器为透射式空间光调制器时，所述透射式空间光调制器包括第一电极板、液晶以及第二电极板；

所述利用空间光调制器根据所述位置信息对照射光束进行调节的步骤包括：

根据所述位置信息调节所述第一电极板与所述第二电极板之间的电压；

根据所述电压调节所述液晶的排列方向和位置，并根据所述液晶的排列方向和位置对照射光束进行调节。

5.根据权利要求3所述的LED巨量转移的方法，其特征在于，当所述空间光调制器为反射式空间光调制器时，所述反射式空间光调制器包括导电电极、液晶、发射电极以及偏振片；

所述利用空间光调制器根据所述位置信息对照射光束进行调节的步骤包括：

根据所述位置信息调节所述导电电极与所述发射电极之间的电压，根据所述电压调节所述液晶的排列方向和位置；

根据所述液晶的排列方向和位置调节照射光束的偏振方向，并使所述照射光束通过所述偏振片过滤掉偏振方向发生改变的照射光束，从而对所述照射光束进行调节。

6.根据权利要求3所述的LED巨量转移的方法，其特征在于，当所述空间光调制器为数字微反射镜时，所述数字微反射镜包括与所述LED位置对应的微镜片；

所述利用空间光调制器根据所述位置信息对照射光束进行调节的步骤包括：

根据所述位置信息控制所述微镜片的倾斜角度；

根据所述微镜片的倾斜角度对照射光束进行调节。

7.一种LED巨量转移的方法，其特征在于，包括：

检测并获取载体基板上未损坏LED的位置信息；

根据所述位置信息对所述载体基板进行相应的光束照射，使得照射后的所述未损坏LED与所述载体基板分离，并转移至目标基板上。

8.根据权利要求7所述的LED巨量转移的方法，其特征在于，所述根据所述位置信息对所述载体基板进行相应的光束照射的步骤包括：

利用空间光调制器根据所述位置信息对照射光束进行调节；

使用调节后的所述光束对所述载体基板进行相应的照射。

9.根据权利要求8所述的LED巨量转移的方法，其特征在于，所述空间光调制器为透射式空间光调制器、反射式空间光调制器或数字微反射镜中的一种。

10.根据权利要求8所述的LED巨量转移的方法，其特征在于，当所述空间光调制器为透射式空间光调制器时，所述透射式空间光调制器包括第一电极板、液晶以及第二电极板；

所述利用空间光调制器根据所述位置信息对照射光束进行调节的步骤包括：

根据所述位置信息调节所述第一电极板与所述第二电极板之间的电压；

根据所述电压调节所述液晶的排列方向和位置，并根据所述液晶的排列方向和位置对照射光束进行调节。