[发明专利]电解研磨方法和装置

说明书

本发明能够使空心管内表面的电解研磨的研磨量进一步平均化。纵向保持空心管的保持框相对于架台在纵向中央以翻转自如的方式被轴支承。上述空心管中插通电极，并且在上述空心管的两端设置液体缓冲器。阀构件能够以无论是在上述保持框的翻转(空心管的翻转)前还是翻转后，都能够经由下方的液体缓冲器供给电解液且经由上方的液体缓冲器排出电解液的方式，切换供给排出液体回路。当然，在上述的翻转前后的电解液的供给期间进行规定时间的电解处理。上述阀构件的切换可以通过手动进行，也可以使用控制单元进行。

技术领域

本发明涉及电解处理，特别是涉及与电解研磨或电解镀敷的电解液的循环相关的装置和方法。

背景技术

作为形成大爆炸(big bang)状态的装置，正在计划建设直线对撞机(ILC计划)。如图10所示，直线对撞机中使用在两端具有凸缘101a、101b且直径在轴向上周期性地变化的铌的空心管100。为了通过该实验得到规定的效果，关键因素之一在于，该铌的空心管100的内表面是否平滑。

但是，由于空心管100在成型时受过大的压力和热的作用，其内表面的组织成为不均匀地变形的状态。如果将该表面状态保持如此，则电特性、磁特性也会成为不均匀的状态，作为结果，不能对电子或质子赋予规定的速度。因此，开发了将空心管的内表面研磨规定厚度的方法。

不限于铌，作为将如上所述的空心管进行研磨的方法，通常使用化学研磨和电解研磨，但在此处对电解研磨进行叙述。

对如上所述的空心管、特别是对内表面不是直线而具有复杂形状的空心管的内表面进行电解研磨时，从研磨液产生的气泡的处理是非常重要的。即，如果气泡滞留，则该部分的表面成为粗糙状态，从而不能成为令人满意的状态。

日本特开昭61－23799中公开了一种装置，该装置对在上述管的长边方向中央部具有单元格(以下称为单元格)的空心管(金属制中空体)的内表面进行研磨。即，设为如下结构，在将上述空心管的长边方向保持水平的状态下，使通液导管通过该金属制中空体的中心，将电解液从该通液导管的一端向上述单元格供给，并设为如下结构，一边使中空体相对于上述中空体的中心轴旋转、一边以内部的大致下半部分浸渍于研磨液的方式供给研磨液。其中，成为如下结构，从通过中空体中心的供液导管的一侧，从设置于该供液导管的下侧且与中空体的单元格对应的位置的供给口供给电解液，并从中空体的另一侧开口部流出。因此，供给于单元格的电解液的流通状态根据部分不同而不同，研磨状态变得不均匀。

日本特开平11－350200中，为了改良上述的缺点，制成了从供液导管的上侧向垂直上方向供给电解液，以使单元格中不发生电解液的流动，试图使研磨状态均匀。

然而，在如上所述水平配设空心管的情况下，成为上半部分未浸渍于电解液的状态，不能忽视由伴随电解而产生的气泡引起的表面粗糙化。因此，本发明的申请人在日本专利5807938中公开了一种装置，其中，纵向配置空心管的轴，在使空心管的内表面整体浸渍于电解液的状态下，进行电解处理(研磨，镀敷)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭61－23799号公报

专利文献2：日本特开平11－350200号公报

专利文献3：日本专利5807938号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

使用纵向配置上述空心管的轴进行电解研磨的日本专利5807938的装置时，能够以某程度的均匀性研磨空心管的内表面，但在进一步要求精密性时是不充分的。

图7是在使用上述日本专利5807938中公开的装置对直径在轴向上周期性变化的空心管进行研磨的情况下、测定各部(图5，m1～m6)的研磨量的图。以下，将从所述空心管的小径部到小径部的鼓起称为单元格(cell)。