[发明专利]聚酰亚胺树脂及包含其的负型感光性树脂组合物

说明书

本发明涉及包含化学式1的结构的聚酰亚胺树脂、包含其的负型感光性树脂组合物、以及包含由上述负型感光性树脂组合物形成的有机绝缘膜或感光性图案的电子元件。

技术领域

本申请主张基于2018年07月20日向韩国专利局提交的韩国专利申请第10-2018-0085003号的优先权，其全部内容包含在本说明书中。

本发明涉及感光性树脂组合物，更具体而言，涉及溶解度优异，显影时不发生溶胀的负型闭环聚酰亚胺树脂及包含其的负型感光性树脂组合物。

背景技术

感光性树脂作为在各种精密电子、信息产业产品生产中实用化的代表性功能性高分子材料，目前被重要地利用于尖端技术产业、特别是半导体和显示器的生产。一般情况下，感光性树脂是指通过光照射在短时间内发生分子结构的化学变化而发生在特定溶剂中的溶解度、着色、固化等物性的变化的高分子化合物。利用感光性树脂时，可以实现精细精密加工，与热反应工序相比，可以大幅节约能量和原料，可以在小的设置空间快速且准确地实施作业，因此广泛用于尖端印刷领域、半导体生产、显示器生产、光固化表面涂覆材料等各种精密电子、信息产业领域。

这种感光性树脂大致可以分为负型和正型，负型的感光性树脂是被光照射的部分不溶于显影液的类型，正型的感光性树脂是被光照射的部分可溶于显影液的类型。

负型感光性树脂中所使用的聚合物要求在选择性的曝光后被曝光的部分在显影液中的溶解度高且未被曝光的部分在显影液中的溶解度低或不被溶解的必要条件。这样的必要条件在精密电子、信息产业领域中会更多地被要求，以使得可以形成极精细的图案。

发明内容

所要解决的课题

本发明提供利用负型感光性组合物形成图案时在显影过程中不发生溶胀现象且溶解度优异的闭环结构的聚酰亚胺及包含其的负型感光性树脂组合物。

另外，本发明提供包含由上述负型感光性树脂组合物形成的有机绝缘膜或感光性图案的电子元件。

课题的解决方法

本发明的一实施方式提供包含下述化学式1的结构的聚酰亚胺树脂。

[化学式1]

上述化学式1中，

X为4价有机基团，

Y为2价至6价有机基团，

R₃至R₆彼此相同或不同，各自独立地为氢、或者包含光聚合性不饱和基团的C1-C10的有机基团，m₁、m₂、k₁和k₂各自为0或1，0≤m₁+m₂+k₁+k₂≤2，

L₁为2价有机基团，是芳香族基团、脂肪族基团、或者芳香族基团与脂肪族基团的组合，至少一个碳原子可以被C(＝O)、SO₂、NR、S、或O替换，R为芳基或烷基，L₁可以被卤素基团、羟基、羧基、硫醇基、磺酸基或烷基取代，

R₁为-S-、-O-、-CO₂-或-SO₂-，

R₂由下述化学式2表示。

[化学式2]

上述化学式2中，R₇为氢、或者碳原子数1至4的烷基，p为1至10的整数，