[发明专利]具有提高储存能力的流体压力调节阀的气缸

说明书

本发明涉及一种气缸(保管及搬运流体的容器)，用于储存并搬运流体，在设定的条件下，以设定的排放压力排放储存的流体，更详细地说，涉及一种具有流体压力调节阀的气缸，设置在气缸(保管及搬运流体的容器)而在设定的条件下，以设定的排放压力排放储存的流体，能够提高气缸(保管及搬运流体的容器)的流体储存能力。这种本发明的能够提高流体储存能力的具有流体压力调节阀的气缸作为一种仅在出口侧的设定的压力条件下以设定的排放压力排放储存的流体的，保管及搬运流体的气缸，包括：第一调节器，调节气缸内流体的排放压力而能够以调节后的设定压力排放；第二调节器，仅在设定的压力条件下排放由所述第一调节器调节过设定压力的流体，具有流体压力调节阀，使得所述第一调节器和第二调节器未被插入到气缸储存空间而提高了储存能力。

技术领域

本发明涉及一种气缸(保管及搬运流体的容器)，用于储存并搬运流体，在设定的条件下，以设定的排放压力排放储存的流体。

更详细地说，涉及一种具有流体压力调节阀的气缸，设置在气缸(保管及搬运流体的容器)而在设定的条件下，以设定的排放压力排放储存的流体，能够提高气缸(保管及搬运流体的容器)的流体储存能力。

背景技术

一般而言，多种工业工艺和应用中需要可靠的工艺气体供应源，尤其，在半导体制造工艺中，蚀刻工艺等多种工艺都需要用于实施工艺的气体，为了供给这种气体，广泛使用能够储存并搬运流体的气缸。

这种用于搬运及储存流体的气缸设置有流体压力调节阀(流体压力调节阀系统)，其能够以固定的设定压力排放且仅在排放侧的压力条件下排放气体。

尤其，公开专利10-2008-0099342号“流体储存及分配用系统及方法”、公开专利10-2015-0059776号“压力调节式流体保管及搬运容器的压力峰值预防及管理”中公开了流体压力调节阀(流体压力调节阀系统)技术。

参照图8对所述现有技术公开的流体压力调节阀相关技术进行描述，

用于搬运及储存流体的气缸2设置有流体压力调节阀1，其以设定的压力排放储存的流体(气体)，仅在排放侧的压力条件下排放，

以设定的压力排放且仅在排放侧的压力条件下进行排放的所述流体压力调节阀1包括：第二调节器1a，用于仅在排放侧的压力条件下进行排放；第一调节器1b，以设定的压力排放储存在气缸2中的流体(气体)。

但是，现有技术公开的流体压力调节阀1所具有的第一调节器1b和第二调节器1a被容纳到位于下部且储存流体的气缸2内部空间，连接第一调节器1b和第二调节器1a的连接管1d及用于过滤异物的微粒过滤器1c也被容纳到储存流体的气缸2内部空间。

如上所述，因在储存流体的气缸2内部空间设置第一调节器1b和第二调节器1a、连接管1d及微粒过滤器1c，存在减少储存流体的体积的问题，这造成较多经济损失。尤其，若储存流体的气缸2内部空间不大，则在内部空间中第一调节器1b和第二调节器1a、连接管1d及微粒过滤器1c所占的空间会较大，因此会大大减少被储存而搬运的流体的量。

发明内容

(要解决的技术问题)

本发明的目的在于解决这种现有技术存在的问题。

即，本发明提供一种具有流体压力调节阀的气缸，该气缸外设置能够在设定的条件下以设定的排放压力排放储存的流体的多个调节器(调整器)，从而解决流体储存能力下降的问题。

并且，提供一种具有流体压力调节阀的气缸，易于更换多个调节器(调整器)而容易维护，能够减少维护及更换所需的费用。

(解决问题的手段)