[发明专利]间隔件、基板的层积体、基板的制造方法和磁盘用基板的制造方法

说明书

本发明提供一种间隔件，其介于构成层积体的基板中的相邻的基板间，将相邻的基板彼此分开，该间隔件的面积小于进行层积的基板，对于将上述间隔件夹在2个以上的上述基板之间而形成的层积体，从在层积方向施加0.60MPa的压力的按压状态到解除了压力的无按压状态时，根据由于上述压力的解除而发生变化的上述层积体的厚度而计算出的上述间隔件每1片的厚度的变化量ΔW为30μm以下。

技术领域

本发明涉及间隔件、基板的层积体、基板的制造方法以及磁盘用基板的制造方法。间隔件是在形成2个以上的基板的层积体并进行该2个以上的基板的端面处理时介于层积体中的相邻的基板之间而使相邻的基板彼此分开的片状的部件。

背景技术

用于数据记录的硬盘装置中使用有磁盘，该磁盘是在圆盘状的非磁性体的磁盘用玻璃板上设置磁性层而成的。

在制造磁盘用玻璃板时，对玻璃板的主表面和端面(内侧端面和外侧端面)进行磨削或研磨。在玻璃板的端面的研磨中，为了提高玻璃板的端面的研磨的作业效率，使用下述方法：形成将多片玻璃板沿主表面的法线方向重合的玻璃板的层积体，将多个玻璃板的端面利用研磨刷等研磨夹具同时进行研磨。在层积体中，为了防止玻璃板彼此密合、或者玻璃板的主表面彼此摩擦而被刮伤，按照端面研磨用玻璃板的间隔件介于玻璃板之间来进行设置，将玻璃板彼此分开。

在玻璃板的端面研磨中，进行外侧端面和内侧端面这两种研磨。因此，如上所述进行玻璃板的层积体的研磨的情况下，例如在外侧端面研磨用夹具上层积玻璃板，在按压状态下进行外侧端面的研磨，之后进行内侧端面研磨。这种情况下，在外侧端面的研磨与内侧端面的研磨的工序之间需要解放按压的玻璃层积体、进一步拆解层积体(分离玻璃板)。

即使不进行这样的玻璃层积体的按压的解除以及拆解也能够进行外侧端面和内侧端面的研磨的玻璃板层积夹具是公知的(专利文献1)。

上述玻璃板层积夹具具有轴，该轴插入到磁记录介质用玻璃板的圆孔中，支承玻璃板层积体的内侧端面，将磁记录介质用玻璃板的位置对准。该轴具备能够使夹头螺栓嵌合在轴的两端的夹头螺栓嵌合部，在轴的周围具备支承玻璃板层积体的轴固定部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-73636号公报

发明内容

发明所要解决的课题

使用上述玻璃板层积夹具的情况下，不需要进行玻璃板层积体的按压的解除和拆解，因此生产效率提高。

但是，上述玻璃板层积夹具的装置构成复杂、难以处理，并且需要配合上述玻璃板层积夹具来构成研磨刷等研磨夹具，进行端面研磨时的通用性低。另外，由于上述玻璃板层积夹具按照层积片数为100片以上进行设定或固定，因此考虑到内侧端面研磨和外侧端面研磨的研磨时间的差异，为了提高玻璃板的生产效率，不能自由地分配内侧端面研磨和外侧端面研磨的层积片数。从这方面出发，在端面研磨中使用上述玻璃板层积夹具有时并不合适。

另一方面，为了在不拆解玻璃板的层积体(不进行玻璃板的分离)的情况下解除玻璃板的层积方向的按压而在外侧端面的研磨后进行内侧端面的研磨、或者在内侧端面的研磨后进行外侧端面的研磨，可以更换层积夹具。但是，这种情况下，由于解除按压状态的层积体的压力，因此设于相邻的玻璃板之间的间隔件的形状发生复原，因而会引起间隔件产生位置偏移，进而还可能由于该间隔件的位置偏移而引起相邻的玻璃板彼此的位置偏移。若在玻璃板发生了位置偏移的状态下再次按压玻璃板的层积体来进行端面研磨，则玻璃板相对于相邻的玻璃板的相对位置发生变化，其结果，倒角面或侧壁面上的加工余量(取代量)产生偏差。

另外，由于间隔件产生位置偏移，因而有时不能适当地进行设于端面的倒角面的研磨。例如，在介于相邻的玻璃板之间的间隔件由于位置偏移而向倒角面的一侧移动时，研磨刷与被倒角面夹着的凹部的底附近接触的接触方式变化，可能无法进行均匀的研磨。