[发明专利]抛光系统、抛光基板的方法和计算机储存介质

权利要求书

1.一种编码有指令的计算机储存介质，这些指令在被一个或多个计算机执行时使得该一个或多个计算机执行包括以下步骤的操作：

从原位监测系统接收数据，针对该原位监测系统的传感器对由抛光垫抛光的基板的层进行的多次扫描中的每次扫描，该数据包括该层上的多个不同位置的多个测量到的信号值；

基于来自该原位监测系统的该数据确定该抛光垫的厚度；

针对该多次扫描中的每次扫描，基于该抛光垫的该厚度来调整该多个测量到的信号值的至少一部分，以提供多个调整后信号值；

针对该多次扫描中的每次扫描，针对该多个不同位置中的每个位置来生成表示该位置处的该层的厚度的值，从而提供表示该多个不同位置处的厚度的多个值，其中该生成步骤包括以下步骤：使用由机器学习来构造的一个或多个处理器来处理至少该多个调整后信号值；和

执行以下步骤中的至少一者：基于表示该多个不同位置处的这些厚度的该多个值来检测抛光终点或更改抛光参数。

2.如权利要求1所述的计算机储存介质，其中确定该抛光垫的该厚度的步骤包括以下步骤：针对该基板确定增益，和从相关函数确定该抛光垫的该厚度，该相关函数提供垫厚度值作为该增益的函数。

3.如权利要求2所述的计算机储存介质，其中针对该基板确定该增益的步骤包括以下步骤：基于表示发生在该层的抛光操作的初始部分中的多次扫描的厚度的多个值，确定该层的估计起始厚度值；在抛光之前接收该层的初始厚度值；和将该估计起始厚度值与接收到的该初始厚度值进行比较。

4.如权利要求3所述的计算机储存介质，包括以下步骤：从该传感器接收多个原始厚度值，且其中这些操作包括以下步骤：在确定该增益之后，将该多个原始厚度值与该增益相乘，以生成该多个测量到的信号值。

5.如权利要求1所述的计算机储存介质，其中调整该多个测量到的信号值的至少该部分的步骤包括以下步骤：在该多个测量到的信号值的至少该部分上执行卷积。

6.如权利要求1所述的计算机储存介质，其中该层上的该多个不同位置包括该基板的边缘区域中的至少一个边缘位置、该基板的中心区域中的至少一个中心位置、和该中心区域与该边缘区域之间的锚定区域中的至少一个锚定位置。

7.如权利要求6所述的计算机储存介质，其中该多个测量到的信号值的该至少一部分包括与该边缘区域对应的测量到的信号值、包括与该锚定区域对应的测量到的信号值、且不包括与该中心区域对应的测量到的信号值。

8.如权利要求1所述的计算机储存介质，其中处理至少该多个调整后信号值的该步骤包括以下步骤：输出更改后的信号值。

9.如权利要求8所述的计算机储存介质，其中该多个测量到的信号值的该至少一部分少于该多个测量到的信号值中的所有测量到的信号值。

10.如权利要求9所述的计算机储存介质，其中这些操作包括以下步骤：基于该多个更改后的信号值从表示厚度的该多个值中计算第一组值，和基于不在该多个测量到的信号值的该部分中的测量到的信号值的其余部分从表示厚度的该多个值中计算第二组值。

11.如权利要求10所述的计算机储存介质，其中该第一组值包括来自该基板的边缘区域中的位置的值，而该第二组值包括来自该基板的中心区域中的位置的值。

12.如权利要求8所述的计算机储存介质，其中这些操作包括以下步骤：通过将该多个调整后信号值输入到神经网络来处理至少该多个调整后信号值。