[发明专利]靶材与背板的接合体以及靶材与背板的接合体的制造方法在审
| 申请号： | 201980005486.9 | 申请日： | 2019-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN112135922A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 永津光太郎;山田裕贵 | 申请（专利权）人： | JX金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23K20/00;H01L21/285 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 背板 接合 以及 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种靶材与背板的接合体，其具有含有Ta的靶材和接合于所述靶材的背板，
所述靶材与背板的拉伸强度为20kg/mm2以上，所述靶材的平均氢含量为7体积ppm以下。
2.根据权利要求1所述的靶材与背板的接合体，其中，
所述靶材的靶面位置处的氢含量与所述靶材的厚度方向的中央位置处的氢含量之差为2体积ppm以下。
3.根据权利要求1或2所述的靶材与背板的接合体，其中，
所述靶材中的Ta的含量为99.99质量％以上。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的靶材与背板的接合体，其中，
所述背板含有Cu和Zn。
5.根据权利要求4所述的靶材与背板的接合体，其中，
所述背板中的Cu的含量为60质量％～70质量％，Zn的含量为30质量％～40质量％。
6.一种靶材与背板的接合体的制造方法，其是制造靶材与背板的接合体的方法，包括以下工序：
分别准备含有Ta的靶材和背板的工序；以及
将所述靶材和背板相互重叠，在惰性气体气氛下一边加热一边加压，将所述靶材与背板接合的工序，
在将所述靶材与背板接合的工序中，将惰性气体气氛中的氢浓度设为5体积ppm以下，将相互重叠的所述靶材和背板加热至600℃～800℃的温度。
7.根据权利要求6所述的靶材与背板的接合体的制造方法，其中，
在将所述靶材与背板接合的工序中，将相互重叠的所述靶材和背板一边加热一边加压1小时～5小时。
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