[发明专利]用于产生照明线的光学系统有效
申请号: | 201980006423.5 | 申请日: | 2019-01-03 |
公开(公告)号: | CN111465889B | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | B·伯格哈特;H·卡勒特;J·里克特 | 申请(专利权)人: | 创新有限公司 |
主分类号: | G02B27/09 | 分类号: | G02B27/09;B23K26/073;H01L21/02 |
代理公司: | 北京市正见永申律师事务所 11497 | 代理人: | 黄小临 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 产生 明线 光学系统 | ||
1.一种光学系统(10),用于产生照明线(22),包括:
-激光束源(26),用于产生沿着光轴(z)的激光束(14);
-光束整形装置(12),设置用于对所述激光束(14)整形,使所述激光束(14)的光束轮廓(16)具有长轴(y)和短轴(x);以及
-成像装置(18),在所述激光束(14)的光束路径中位于所述光束整形装置(12)之后,设置用于将所述激光束(14)成像为照明线(22);
其中,所述光束整形装置(12)具有至少一个望远镜组件(20;36),该望远镜组件(20)包括第一透镜组(23;38)和第二透镜组(24;40),其中,所述第一透镜组(23;38)和所述第二透镜组(24;40)相对于所述短轴(x)具有屈光力;
该光学系统(10)包括第一移动装置(60),用于沿着光轴(z)移动所述第一透镜组和第二透镜组中的至少一个;
该光学系统(10)还包括控制单元(64),该控制单元(64)设置用于控制所述第一移动装置(60),以在所述激光束源(26)产生激光束时使所述第一透镜组和第二透镜组中的至少一个移动,
其中,所述激光束源(26)包括激光谐振器(46)、在光束路径中位于该激光谐振器(46)之后的倍频的晶体组件(52)、以及在光束路径中设置在该激光谐振器(46)和该晶体组件(52)之间的第一快门元件(48),以及
所述控制单元(64)设置用于根据所述第一快门元件(48)的打开状态来控制所述第一移动装置(60)。
2.根据权利要求1所述的光学系统(10),其中,所述控制单元(64)设置用于,对所述第一移动装置(60)进行控制,使得在所述第一快门元件(48)打开之后,所述望远镜组件(20;36)能够连续地从第一位置移动到第二位置,以至少部分地补偿由所述晶体组件(52)的加热而造成的热透镜效应。
3.根据权利要求2所述的光学系统(10),其中,所述热透镜效应导致所述激光束(14)的束腰沿光轴(z)移动,并且所述控制单元(64)设置用于对这种移动进行补偿,使得所述照明线(22)的宽度和/或所述照明线(22)的最大强度基本保持恒定。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的光学系统(10),其中,所述至少一个望远镜组件(20)是开普勒望远镜或伽利略望远镜,以及
所述望远镜组件(20;36)设置用于,使基本上准直入射的激光束作为基本上准直的激光束输出。
5.根据权利要求4所述的光学系统(10),其中,所述望远镜组件(20)是开普勒望远镜,以及所述第一透镜组(23)和所述第二透镜组(24)具有相同的焦距,或者
第二透镜组(40)在光束路径中设置在第一透镜组(38)之后,并且所述第二透镜组(40)的焦距大于所述第一透镜组(38)的焦距,使得入射到望远镜组件(36)中的激光束作为加宽的激光束输出。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的光学系统(10),其中,所述第二透镜组(24;40)在光束路径中设置在所述第一透镜组(23;38)之后;
所述第一移动装置(60)设置用于移动所述第一透镜组(23;38);以及
所述第二透镜组(24;40)固定地安装。
7.根据权利要求6所述的光学系统(10),其中,所述控制单元(64)设置用于,在所述第一快门元件(48)打开之后,使所述第一透镜组(23;38)沿光轴(z)在光束路径的方向上移动。
8.根据权利要求1至3中任一项所述的光学系统(10),还包括:
第二移动装置(62),用于使所述成像装置(18)沿光轴(z)移动;
其中所述控制单元(64)设置用于,控制该第二移动装置(62),使所述成像装置(18)与所述第一透镜组和所述第二透镜组中的至少一个同时移动。
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