[发明专利]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201980006665.4 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN111684100B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 北沢僚也;仓田敬臣 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 魏彦 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，具有：
蒸发源，收纳蒸镀材料，并具有加热所述蒸镀材料的加热机构；
支撑机构，在与所述蒸发源相向的位置支撑蒸镀对象物；
限制板，被配置在相对于所述蒸发源与所述蒸镀对象物之间的中点而靠所述蒸镀对象物侧的位置，且以所述蒸镀材料从所述蒸发源以第一角度范围飞散而到达所述蒸镀对象物的直接区域与所述蒸镀材料从所述蒸发源以比所述第一角度范围大的第二角度范围飞散而到达所述蒸镀对象物的交叉区域基本一致的方式限制所述蒸镀材料的飞散路径；以及
腔体，收纳所述蒸发源、所述支撑机构以及所述限制板，
所述蒸发源以及所述限制板构成为能够与所述支撑机构相对移动，所述限制板是沿着与所述相对移动的方向垂直的面的板状构件。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，
所述蒸发源包括收纳第一蒸镀材料的第一蒸发源以及收纳第二蒸镀材料的第二蒸发源。
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