[发明专利]真空泵系统

说明书

本发明涉及真空泵系统，其具有串联布置的至少两个室(10、12)。涡轮分子泵(18)连接到第二室或最后一个室，并且多级罗茨泵(24)连接到第一室，其中，第一室(10)的出口(25)连接到多级真空泵的中间入口(26)，并且涡轮分子泵(18)的出口(20)连接到多级真空泵(24)的主入口(22)。

【技术领域】

本发明涉及一种真空泵系统。

【背景技术】

例如，已知具有多个真空泵以及增压泵的真空泵系统与质谱仪一起使用，这些真空泵诸如特别是涡轮分子泵和霍尔韦克(Holweck)泵，增压泵可以是例如爪式泵或罗茨(Roots)泵。质谱仪包括多个彼此串联的室。使用真空泵，在室中生成不同的真空，其中，压力从第一室朝向最后一个室降低，待检查介质被引入到第一室中。质谱仪的最后一个室(其中存在最低压力)通常与涡轮分子泵连接。倒数第二个室也与涡轮分子泵连接，其中，与最后一个室连接的涡轮分子泵的出口与倒数第二个室的涡轮分子泵的入口连接。这可以根据室的数量以对应的方式继续，同时还已知将各个涡轮分子泵设计为多级真空泵的涡轮分子级。其中存在相对最高压力的第一室与预真空泵连接。进一步地，第二室的泵的出口也与该泵的入口连接。例如WO2006/048602中描述了这种真空泵系统。

WO2006/048602中描述了另一种真空泵系统，其中，第一室与两个预真空泵连接。这两个预真空泵串联布置并且与第一室连接。与第二室连接的真空泵的出口与第一预真空泵的入口或第二预真空泵的入口二者之一连接。

特别是对于质谱仪，需要可以增加供应到第一室中的气体量。从而，特别可以执行特定气体的更准确和/或更快的检测或者被引入到第一室中的气体的更准确和/或更快的检查。然而，当供应更大的气体量时，存在真空泵，特别是分子泵显著变热的问题。这是不利的，因为质谱仪是热敏的。

【发明内容】

本发明的目的是提供一种真空泵系统，该真空泵系统特别适于与质谱仪一起使用，并且还可以利用该真空泵系统检查更大的气体量。

根据本发明，该目的通过权利要求1的特征来实现。

本发明的真空泵系统包括彼此串联连接的至少两个室。优选地，这些室是质谱仪的室。第二室或最后一个室与真空泵连接，该真空泵优选是涡轮分子泵。第一室与多级真空泵连接，该真空泵优选地特别是两级罗茨泵。在质谱仪中，第一室是将要检查的气体引入到其中的室。第二及各个另外的室与第一室串联邻接，分别地，在第二室中存在的压力比第一室中低，并且在各个另外的室中存在的压力比前一室中低。根据本发明，与第二室连接的真空泵的出口与多级真空泵的主入口连接。此外，根据本发明，第一室的出口与多级真空泵的中间入口连接。以这种方式，根据本发明，即使在将更大的气体量引入到真空泵系统的第一室中时，也可以避免泵上的热负荷以及热敏质谱仪上的热负荷。

如果真空泵系统包括第三室，则该第三室也与真空泵，特别是涡轮分子泵连接。该真空泵的出口与同第二室连接的真空泵的入口连接。由此，从第三室泵送的气体流过与第三室连接的真空泵、与第二室连接的真空泵以及与第一室连接的多级真空泵的两级。

在具有第四室的真空系统中，第四室与另外的真空泵、特别是涡轮分子泵连接。该另外真空泵的出口又与同第三室连接的真空泵的入口连接。类似地，真空泵系统还可以包括另外的室。