[发明专利]用于离子注入机的氢气发生器在审
| 申请号： | 201980007028.9 | 申请日： | 2019-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN111542909A | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 尼尔·科尔文;哲-简·谢;理查德·雷舒特;温迪·科尔比 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 刘新宇;寿宁 |
| 地址： | 美国马萨诸*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 离子 注入 氢气 发生器 | ||
1.一种用于离子注入系统的终端系统，其中，所述终端系统包括：
终端壳体；
离子源总成，其布置于所述终端壳体内；
气体箱，其电耦合到所述离子源总成；以及
氢气发生器，其布置于所述气体箱内，其中，所述氢气发生器配置成产生氢气并与所述离子源总成处于相同的电势。
2.根据权利要求1所述的终端系统，其中，所述离子源和所述气体箱通过多个电绝缘体与所述终端壳体电隔离。
3.根据权利要求1所述的终端系统，其进一步包括多个绝缘支座，通过所述多个绝缘支座使所述终端壳体与大地电隔离。
4.根据权利要求1所述的终端系统，其进一步包括终端电源，所述终端电源配置成使所述终端壳体相对于大地电偏置到终端电势。
5.根据权利要求4所述的终端系统，其中，所述终端电势相对于大地约为-300keV。
6.根据权利要求1所述的终端系统，其进一步包括离子源电源，其中，所述离子源电源配置成使离子源相对于所述终端电势电偏置到离子源电势。
7.根据权利要求6所述的终端系统，其中，所述离子源电势相对于所述终端电势升高约60keV。
8.根据权利要求1所述的终端系统，其进一步包括所述导电管使所述气体箱与所述离子源电耦合。
9.根据权利要求8所述的终端系统，其中，所述导电管提供所述氢气发生器与所述离子源之间的流体连通。
10.根据权利要求9所述的终端系统，其中，所述导电管包括不锈钢管。
11.一种离子注入系统，其包括：
终端，所述终端包括：
终端壳体；
离子源，其配置成形成离子束；
气体箱，其包括氢气发生器，所述氢气发生器配置成产生用于所述离子源总成的氢气，其中，所述气体箱与所述终端壳体电隔离，且其中，所述气体箱与所述离子源总成电耦合；
束线总成，其配置成选择性输送所述离子束；以及
端站，其配置成接受离子束以将离子注入到工件中。
12.根据权利要求11所述的终端系统，其中，所述离子源和所述气体箱通过多个电绝缘体与所述终端壳体电隔离。
13.根据权利要求11所述的终端系统，其进一步包括多个绝缘支座，通过所述多个绝缘支座使所述终端壳体与大地电隔离。
14.根据权利要求11所述的终端系统，其进一步包括终端电源，所述终端电源配置成使所述终端壳体相对于大地电偏置到终端电势。
15.根据权利要求14所述的终端系统，其中，所述终端电势相对于大地约为-300keV。
16.根据权利要求11所述的终端系统，其进一步包括离子源电源，其中，所述离子源电源配置成使离子源相对于所述终端电势电偏置到离子源电势。
17.根据权利要求16所述的终端系统，其中，所述离子源电势相对于所述终端电势升高约60keV。
18.根据权利要求11所述的终端系统，其进一步包括所述导电管使所述气体箱与所述离子源电耦合。
19.根据权利要求18所述的终端系统，其中，所述导电管提供所述氢气发生器与所述离子源之间的流体连通。
20.根据权利要求19所述的终端系统，其中，所述导电管包括不锈钢管。
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