[发明专利]可变分辨率光谱仪

权利要求书

1.一种可变分辨率光谱仪，其包括：

光学系统，其经配置以变换射线，所述光学系统包含：

衍射光栅，

转向镜，

载台，及

致动器，其经配置以根据移动机制移动所述载台、衍射光栅或转向镜中的一者以改变所述载台上的所述射线的入射，所述移动机制具有起始位置及结束位置；传感器阵列，其安置于所述载台上，所述传感器阵列包含多个像素列，每一像素列具有至少一个像素，其中所述传感器阵列经配置以在多个测量位置处接收从所述光学系统入射的所述射线以获得多个射线光谱；及

处理器，其电连接到所述传感器阵列，其中所述处理器经配置以：

接收所述射线光谱，

使所述射线光谱交错以产生交错光谱，及

从所述交错光谱去卷积对应于所述光学系统的点散布函数以产生经复原数字化光谱。

2.根据权利要求1所述的可变分辨率光谱仪，其中所述致动器是压电致动器、伺服电动机或步进电动机。

3.根据权利要求1所述的可变分辨率光谱仪，其中：

所述载台是通过所述致动器移动；且

所述移动机制是递增平移，其中：

所述载台是沿着从所述起始位置到所述结束位置的线性路径以一或多个增量可平移地移动，且

所述增量中的每一者具有分离达小于所述起始位置与所述结束位置之间的总线性距离的递增线性距离的起始点及结束点。

4.根据权利要求1所述的可变分辨率光谱仪，其中：

所述载台是通过所述致动器移动；且

所述移动机制是连续平移，其中所述载台是沿着从所述起始位置到所述结束位置的线性路径基本上连续地可平移地移动。

5.根据权利要求1所述的可变分辨率光谱仪，其中：

所述载台通过所述致动器移动；且

所述移动机制是递增旋转，其中：

所述载台沿着从所述起始位置到所述结束位置的弧形路径以一或多个增量可旋转地移动，且

所述增量中的每一者具有分离达小于所述起始位置与所述结束位置之间的总弧长的递增弧长的起始点及结束点。

6.根据权利要求1所述的可变分辨率光谱仪，其中：

所述载台通过所述致动器移动；且

所述移动机制是连续旋转，其中所述载台是沿着从所述起始位置到所述结束位置的弧形路径基本上连续地可旋转地移动。

7.根据权利要求1所述的可变分辨率光谱仪，其中所述多个测量位置中的两个测量位置分离达小于像素宽度的距离。

8.根据权利要求1所述的可变分辨率光谱仪，其中所述传感器阵列是电荷耦合装置。

9.根据权利要求1所述的可变分辨率光谱仪，其中：

所述衍射光栅通过所述致动器移动；且

所述移动机制是递增平移，其中：

所述衍射光栅沿着从所述起始位置到所述结束位置的线性路径以一或多个增量可平移地移动，且

所述增量中的每一者具有分离达小于所述起始位置与所述结束位置之间的总线性距离的递增线性距离的起始点及结束点。