[发明专利]分散板和包括该分散板的涂布装置

权利要求书

1.一种分散板，其包括：

在所述分散板的整个区域上的多个气体注入孔，所述多个气体注入孔位于所述分散板中，使得通过所述气体注入孔的密集分组而形成多个喷动喷嘴，

其中，所述喷动喷嘴是指如下的所述分散板的区域，在该区域中气体注入孔的密度高于除所述喷动喷嘴以外的所述分散板的其他区域的气体注入孔的密度，

其中，所述多个喷动喷嘴中的一个设置在所述分散板的中心，并且沿着从所述分散板的中心到所述分散板的周缘分布的多个虚拟同心圆布置所述多个喷动喷嘴中的其他喷动喷嘴，

其中，对于所述虚拟同心圆中的两个相邻虚拟同心圆，沿外同心圆布置的喷动喷嘴的数量是沿内同心圆布置的喷动喷嘴的数量的两倍，并且

沿外同心圆布置的喷动喷嘴的布置间隔是沿内同心圆布置的喷动喷嘴的布置间隔的一半，

其中，在所述虚拟同心圆之间的所述分散板的每个区域中，所述气体注入孔的开孔率不同。

2.根据权利要求1所述的分散板，其中，在所述虚拟同心圆中的各个虚拟同心圆之间的径向距离相同，并且设置在在所述虚拟同心圆中的同一同心圆中的各个喷动喷嘴之间的周向距离相同。

3.根据权利要求1所述的分散板，其中，每个喷动喷嘴的直径是所述分散板的直径的2％至20％，并且在所述虚拟同心圆中的各个虚拟同心圆之间的径向距离是所述分散板的直径的5％至40％，并且是所述喷动喷嘴的直径的50％到400％。

4.根据权利要求1所述的分散板，其中，最外侧同心圆之外的第一区域的开孔率小于与所述第一区域相邻的第二区域的开孔率，所述第一区域的开孔率小于最内侧同心圆之内的第三区域的开孔率，并且所述第二区域的开孔率大于或等于所述第三区域的开孔率。

5.根据权利要求4所述的分散板，其中，所述第二区域的开孔率是所述第一区域的开孔率的2至5倍，所述第三区域的开孔率是所述第一区域的开孔率的1.5至4倍，以及所述第二区域的开孔率是所述第三区域的开孔率的1至2倍。

6.根据权利要求1所述的分散板，其中，在所述虚拟同心圆中的每一个内的喷动喷嘴与所述虚拟同心圆中的其他虚拟同心圆内的喷动喷嘴具有不同的流速。

7.一种涂布装置，其包括：腔室；和安装在所述腔室内的根据权利要求1所述的分散板。

8.根据权利要求7所述的涂布装置，其进一步包括设置在所述腔室的风箱部分中的结构，所述结构设置在所述分散板的底部的下方，所述结构被构造成引导所述腔室内的气流。

9.根据权利要求8所述的涂布装置，其中，所述结构包括：第一结构，其延伸穿过所述腔室的直径并且在其中心处具有孔，该孔被构造为引导气体流向所述腔室的中心；和第二结构，其与所述第一结构同心地设置并且设置在所述第一结构的上方，并且所述第二结构延伸穿过所述腔室的中心区域，所述第二结构的周边通过周向间隙与所述腔室的壁隔开，所述周向间隙被构造为引导气流流向腔室壁。

10.根据权利要求9所述的涂布装置，其中，所述第一结构设置在所述腔室的锥形区域中，在该锥形区域中所述腔室的直径朝向所述腔室的底部减小，所述第二结构的直径是所述腔室的直径的20％至50％，并且是所述第一结构的孔的直径的50％至150％，并且所述第一结构的内缘和所述第二结构的周缘之间的径向距离是所述第二结构的直径的20至150％。