[发明专利]多级真空泵和差异化地抽吸多个真空室的方法

权利要求书

1.一种包括多个入口(10, 20)的多级正排量真空泵，所述真空泵包括：

壳体，其用于容纳至少一个转子，该至少一个转子安装成在对应的至少一个轴上旋转并且用于抽吸气体通过所述真空泵的多个级(12, 22, 32, 42, 52, 62, 72)，以通过排气口(30)输出；

所述壳体包括所述多个入口(10, 20)，所述多个入口(10, 20)包括：

第一入口(10)，其被配置成允许气体进入所述真空泵的入口级(12)；

另外的入口(20)，其被配置成允许气体进入所述真空泵的中间级(22, 32, 42, 52,62)；和

分流通道，其用于将气体流从所述中间级(22)的第一入口侧上的泵级分流至所述中间级(22)的排气侧上的泵级(32)，其中

所述真空泵被配置成使得被允许通过所述第一入口(10)和所述另外的入口(20)中的每一个进入的气体作为组合气体流一起被所述中间级下游的所述真空泵的至少一级抽吸；并且

所述真空泵被配置成差异化地抽吸多个室(84, 86)，所述第一入口(10)被配置成连接到较低真空室(84)，并且所述另外的入口(20)被配置成充当抽吸较高真空室(86)的真空泵的前级泵。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其中，所述中间级(22)包括出口，用于将由所述中间级(22)抽吸的流朝向所述中间级(22)的第一入口侧上的泵级(12)分流。

3.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵，其中，所述真空泵包括多级罗茨泵、多级爪型泵或多级螺杆泵中的一种。

4.根据权利要求1或2所述的真空泵，所述真空泵包括安装成在双轴上旋转的双转子。

5.根据权利要求1或2所述的真空泵，所述真空泵包括四个或更多个级(12, 22, 32,42, 52, 62, 72)，所述四个或更多个级从所述入口级(12)沿着所述至少一个轴穿过多个中间级(22, 32, 42, 52, 62)连续地布置到排气级(72)。

6.根据权利要求1或2所述的真空泵，其中，所述中间级(22, 32)包括邻近所述入口级(12)的级(22)或与所述入口级(12)相隔一级的级(42)中的一个。

7.根据权利要求1或2所述的真空泵，其中，所述真空泵被配置成相比通过所述另外的入口(20)抽吸更高的气体流量通过所述第一入口(10)。

8.根据权利要求7所述的真空泵，其中，所述真空泵被配置成相比通过所述另外的入口(20)的气体流量抽吸十倍以上的气体流量通过所述第一入口(10)。

9.根据权利要求7所述的真空泵，其中，所述真空泵被配置成通过所述第一入口(10)抽吸在5和10slm之间的气体流量。

10.根据权利要求1或2所述的真空泵，其中，所述真空泵被配置成在所述第一入口(10)处提供在3和5毫巴之间的真空，并且在所述另外的入口(20)处提供适于支持次级泵的压力。

11.根据权利要求10所述的真空泵，其中，在所述另外的入口(20)处提供的所述压力在0.8和10毫巴之间。

12.根据权利要求11所述的真空泵，其中，在所述另外的入口(20)处提供的所述压力在0.8和2.5毫巴之间。

13.一种利用前述权利要求中任一项所述的真空泵在真空系统中差异化地抽吸多个真空室(84, 86)的方法，所述方法包括：

将所述真空泵的所述第一入口(10)连接到较低真空室(84)；和

将所述另外的入口(20)连接到抽吸较高真空室(86)的高真空泵的排气口。

14.根据权利要求13所述的方法，其中，所述真空系统包括质谱系统，其中压力通过连续的真空室(84, 86)分级降低，所述真空室(84, 86)经由限流器(82)被连接以控制所述真空室(84, 86)之间的流动。