[发明专利]弹性波装置

说明书

提供能够更加可靠地抑制横模式的弹性波装置。弹性波装置(1)具备反向速度面为凸的压电性基板(2)、设置在压电性基板(2)上的IDT电极(7)、以及层叠于IDT电极(7)的质量附加膜(8)。IDT电极(7)具有中央区域(B)、第一边缘区域(Ca)、第二边缘区域(Cb)、位于这两个边缘区域的外侧的第一间隙区域(Da)、第二间隙区域(Db)、第一内侧汇流条区域(Ea)、第二内侧汇流条区域(Eb)、第一外侧汇流条区域(Ha)、第二外侧汇流条区域(Hb)。质量附加膜(8)至少层叠在第一边缘区域(Ca)、第二边缘区域(Cb)及第一内侧汇流条区域(Ea)、第二内侧汇流条区域(Eb)。

技术领域

本发明涉及弹性波装置。

背景技术

以往，弹性波装置广泛用于便携电话机的滤波器等。在下述的专利文献1中记载了利用活塞模式的弹性波装置的一例。该弹性波装置的IDT电极具有中央激发区域、与中央激发区域的两侧相邻的内缘区域、以及与内缘区域相邻的外缘区域。通过在内缘区域设置质量附加膜，或者扩宽内缘区域的电极指宽度，来降低内缘区域的声速。由此，通过使上述各区域的声速互不相同，来实现横模式的抑制。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2013-518455号公报

发明内容

发明要解决的课题

在专利文献1所记载的那种弹性波装置中，基于活塞模式的横模式的抑制效果较大地依赖于内缘区域的声速。但是，实际上，在IDT电极的内缘区域的形状、质量附加膜的形状中产生制造偏差，因此，有时无法充分地降低内缘区域的声速。在该情况下，无法充分地增大上述各区域之间的声速差，无法充分地抑制横模式。

本发明的目的在于，提供一种能够更加可靠地抑制横模式的弹性波装置。

用于解决课题的手段

本发明的弹性波装置具备：压电性基板，其反向速度面为凸；IDT电极，其设置在所述压电性基板上；以及质量附加膜，其层叠于所述IDT电极的一部分，所述IDT电极具有：相互对置的第一汇流条及第二汇流条；一端与所述第一汇流条连接的多个第一电极指；以及一端与所述第二汇流条连接的多个第二电极指，该多个第二电极指与所述多个第一电极指相互交错插入，在将弹性波传播方向设为第一方向、将与所述第一方向正交的方向设为第二方向时，所述第一电极指与所述第二电极指在所述第一方向上重叠的部分为交叉区域，所述交叉区域具有：中央区域，其位于所述第二方向上的中央侧；第一边缘区域，其配置在所述中央区域的所述第一汇流条侧；以及第二边缘区域，其配置在所述中央区域的所述第二汇流条侧，所述IDT电极具有：第一间隙区域，其位于所述第一边缘区域与所述第一汇流条之间；以及第二间隙区域，其位于所述第二边缘区域与所述第二汇流条之间，所述第一汇流条由位于所述第一间隙区域侧的第一内侧汇流条区域和位于所述第一内侧汇流条区域的所述第二方向上的外侧的第一外侧汇流条区域构成，并且，所述第二汇流条由位于所述第二间隙区域侧的第二内侧汇流条区域和位于所述第二内侧汇流条区域的所述第二方向上的外侧的第二外侧汇流条区域构成，所述质量附加膜至少层叠在所述第一边缘区域、所述第二边缘区域、所述第一内侧汇流条区域及所述第二内侧汇流条区域。

发明效果

根据本发明，可提供能够更加可靠地抑制横模式的弹性波装置。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式的弹性波装置的正面剖视图。

图2是本发明的第一实施方式的弹性波装置的俯视图。

图3是沿着图2中的I-I线剖切的剖视图。

图4是示出第一比较例中的边缘区域的宽度与横模式的机电耦合系数之间的关系的图。