[发明专利]通过腔室泵抽和吹扫降低释气对处理腔室的影响

权利要求书

1.一种工件处理系统，其包括：

用于处理工件的处理腔室，所述处理腔室具有与之相关联的处理环境；

释气腔室，所述释气腔室操作性耦接至处理腔室，其中，所述释气腔室包括释气腔室阀，所述释气腔室阀配置成选择性使所述处理环境与所述释气腔室内限定的释气环境隔离，且其中，所述释气腔室包括第一工件支撑件，所述第一工件支撑件配置成选择性支撑所述释气环境内的工件；

加热器，所述加热器与所述释气腔室相关联，其中，所述加热器配置成选择性使工件加热到第一预定温度；

真空源，所述真空源与所述释气腔室选择性流体连通，其中，所述真空源配置成选择性使释气腔室减压到第一预定压力；

工件传送设备，所述工件传送设备配置成选择性在所述释气腔室与所述处理腔室之间传送工件；以及

控制器，所述控制器配置成在工件驻留于所述释气腔室中时经由控制所述释气腔室阀而隔离所述释气腔室中的工件，其中，所述控制器进一步配置成同时经由控制所述加热器而使工件加热到所述第一预定温度并经由控制所述真空源而使所述释气腔室减压到所述第一预定压力，其中，所述控制器进一步配置成在第一时间段内使工件保持大致第一预定温度和大致第一预定压力，所述第一时间段与预定释气阈值相关联。

2.根据权利要求1所述的工件处理系统，其中，所述控制器进一步配置成经由控制所述工件传送设备而选择性在所述释气腔室与所述处理腔室之间传送工件。

3.根据权利要求1所述的工件处理系统，其中，所述预定释气阈值定义为从工件释气的气体量。

4.根据权利要求1所述的工件处理系统，其中，所述释气腔室包括压力传感器，所述压力传感器配置成测量所述释气腔室内的释气压力。

5.根据权利要求4所述的工件处理系统，其中，所述预定释气阈值定义为释气压力低于50毫托。

6.根据权利要求1所述的工件处理系统，其中，所述预定释气阈值定义为第一时间段。

7.根据权利要求1所述的工件处理系统，其进一步包括与所述释气腔室选择性流体连通的吹气源，其中，所述吹气源配置成选择性使所述释气腔室增压到第二预定压力，其中，所述第二预定压力高于所述第一预定压力。

8.根据权利要求7所述的工件处理系统，其中，所述第二预定压力约为大气压力。

9.根据权利要求7所述的工件处理系统，其中，所述第二预定压力介于所述第一预定压力与大气压力之间。

10.根据权利要求7所述的工件处理系统，其中，所述吹气源包括惰性气源。

11.根据权利要求10所述的工件处理系统，其中，所述惰性气体包括氮气。

12.根据权利要求7所述的工件处理系统，其中，所述控制器进一步配置成经由控制所述吹气源而在第二时间段内以大致第二预定压力提供工件，所述第二时间段与所述预定释气阈值相关联。

13.根据权利要求12所述的工件处理系统，其中，所述控制器进一步配置成经由控制所述加热器而在所述第二时间段内以第二预定温度提供工件。

14.根据权利要求7所述的工件处理系统，其中，所述控制器进一步配置成经由控制所述真空源和所述吹气源而以所述第一预定压力和所述第二预定压力提供工件达预定迭代次数。

15.根据权利要求14所述的工件处理系统，其中，基于以所述第一预定压力和所述第二预定压力提供工件的迭代，所述第一预定时间段和第二预定时间段可变。