[发明专利]非晶质二氧化硅粉末及其制造方法、用途

权利要求书

1.非晶质二氧化硅粉末，其特征在于，平均粒径为3μm以上且50μm以下，250μm以上的干式筛残存率为5.0质量％以下，通过以下的方法测定的45μm以上的磁化性粒子的个数为0个，

[磁化性粒子的测定方法]

在1000mL烧杯中加入非晶质二氧化硅粉末50g和离子交换水800g而制备浆料，利用搅拌装置以转速550rpm、5秒钟间隔使所述浆料翻转，并使覆盖有厚度为20μm的橡胶制罩的长度为150mm、直径为25mm、磁力为12000高斯的条形磁铁在所述浆料中浸渍1分钟，捕捉磁化性粒子，将捕捉有磁化性粒子的条形磁铁从浆料中取出，在空烧杯上方卸下橡胶制罩，用离子交换水清洗橡胶制罩，并使磁化性粒子脱离，使磁化性粒子分散于水中，使得到的分散液通过安装有直径为25mm、网眼为35μm的尼龙过滤器的吸滤装置，由此将磁化性粒子回收于尼龙过滤器上，将回收有磁化性粒子的尼龙过滤器设置于显微镜，以100倍的倍率在过滤器的整个区域移动，并计测被回收于尼龙过滤器上的磁化性粒子中45μm以上的磁化性粒子的个数。

2.如权利要求1所述的非晶质二氧化硅粉末，其特征在于，最大粒径为75μm以下。

3.如权利要求1或2所述的非晶质二氧化硅粉末，其特征在于，10μm以上的粒子的平均球形度为0.80以上。

4.权利要求1～3中任一项所述的非晶质二氧化硅粉末的制造方法，其特征在于，包括如下工序：

使用60℃以下的水来制备非晶质二氧化硅粉末浓度为40质量％以下的水浆料的工序；

在具有使网眼为0.5mm以上且15mm以下、磁力为14000高斯以上的丝网在垂直方向上重叠10张以上而成的磁选区域的循环管线中，使所述水浆料从下到上以0.2cm/s以上且5cm/s以下的流速循环通过磁选区域并除去非晶质二氧化硅粉末中所含的磁化性粒子的工序；和

将容器内的温度设为130℃以上且300℃以下，在容器上部设置二流体喷嘴，从所述二流体喷嘴的中心部进给含有去除了磁化性粒子的非晶质二氧化硅粉末的水浆料，同时从二流体喷嘴的外侧喷射干燥空气，以50m/s以上且250m/s以下的浆料液滴的喷雾速度使浆料喷雾干燥的工序。

5.树脂组合物，其是含有权利要求1～3中任一项所述的非晶质二氧化硅粉末而成的。

6.半导体密封材料，其使用了权利要求5所述的树脂组合物。