[发明专利]微波加热方法、微波加热装置和化学反应方法

权利要求书

1.微波加热方法，是利用微波的微波加热方法，其中，控制所述微波的频率以形成单模驻波；将被加热对象物配置在采用所述单模驻波所形成的磁场强度变得均匀且极大的磁场区域；采用通过所述磁场区域的磁场作用而产生的磁损耗引起的磁发热、和/或通过所述磁场区域的磁场而在所述被加热对象物内所产生的感应电流引起的感应加热，将所述被加热对象物加热，

所述被加热对象物为配置在基材上的电极图案和器件的电接合用电极，

将所述电极图案的长轴方向的至少一部分相对于用所述单模驻波所形成的磁场的振动方向成45度以上且90度以下的角度而配置，对该电极图案进行微波加热。

2.微波加热方法，是利用微波的微波加热方法，其中，控制所述微波的频率以形成单模驻波；将被加热对象物配置在采用所述单模驻波所形成的磁场强度变得均匀且极大的磁场区域；采用通过所述磁场区域的磁场作用而产生的磁损耗引起的磁发热、和/或通过所述磁场区域的磁场而在所述被加热对象物内所产生的感应电流引起的感应加热，将所述被加热对象物加热，

所述被加热对象物为配置在基材上的电极图案和器件的电接合用电极，

在所述电极图案的上部和下部具有绝缘性的薄膜，

所述微波加热方法具备前段工序和后段工序，所述前段工序包括：在所述基材上印刷底漆·粘接层的工序和该底漆·粘接层的干燥工序、电极图案的印刷工序和该电极图案的干燥工序、焊料糊剂涂布工序、器件搭载工序和微波照射条件判定工序，所述后段工序包括：助熔剂除去工序、粘接剂涂布工序和该粘接剂的固化工序，

采用搬运机构将所述基材连续地搬运，依次进行所述前段工序、采用实施所述微波加热方法的微波加热装置的微波加热工序、和所述后段工序。

3.微波加热方法，是利用微波的微波加热方法，其中，控制所述微波的频率以形成单模驻波；将被加热对象物配置在采用所述单模驻波所形成的磁场强度变得均匀且极大的磁场区域；采用通过所述磁场区域的磁场作用而产生的磁损耗引起的磁发热、和/或通过所述磁场区域的磁场而在所述被加热对象物内所产生的感应电流引起的感应加热，将所述被加热对象物加热，

所述被加热对象物为配置在基材上的电极图案和器件的电接合用电极，将所述电极图案和所述电接合用电极加热，将配置在所述电极图案上的焊料加热、熔融，

所述微波加热方法包括：

在所述基材上经由底漆配置所述电极图案的工序，和

在所述电极图案上经由所述焊料将形成于所述器件的所述电接合用电极连接并且在所述电极图案间的所述基材上经由粘接层将所述器件粘接的工序；

在所述器件的周围形成粘接剂。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的微波加热方法，其中，所述单模驻波为TM_n10模式或TE_10n模式，其中n为1以上的整数。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的微波加热方法，其中，产生所述单模驻波的谐振器为圆筒谐振器或方筒谐振器，在产生所述单模驻波的谐振器的腔体壁的相面对的位置具备入口和出口，具有从所述入口将所述被加热对象物搬入、从所述出口将所述被加热对象物搬出的搬运机构，将所述电极图案的长轴方向的至少一部分相对于用所述单模驻波所形成的磁场的振动方向成45度以上且90度以下的角度而配置，对该电极图案进行微波加热。

6.根据权利要求5所述的微波加热方法，其中，测出与根据配置在所述谐振器内的所述被加热对象物的配置状态而变动的所述单模驻波一致的共振频率，将所述微波调节至与该共振频率一致的频率，向所述谐振器内照射。

7.根据权利要求6所述的微波加热方法，其中，计量来自所述谐振器内的微波照射空间的反射波，基于该反射波的计量信号，由使该反射波成为极小的所述微波的频率测出与所述单模驻波一致的共振频率，控制所述微波的频率。

8.根据权利要求6所述的微波加热方法，其中，计量所述谐振器内的微波照射空间的能量密度，基于该能量密度的计量信号，由使该能量密度成为极大的所述微波的频率测出与所述单模驻波一致的共振频率，控制所述微波的频率。