[发明专利]流量控制装置以及流量控制方法

权利要求书

1.一种流量控制装置，其特征在于，具备：

控制阀，所述控制阀设置于流路；流量测定部，所述流量测定部对通过所述控制阀控制的流体的流量进行测定；以及控制器，

所述控制器对所述控制阀的开闭动作进行控制，使得基于从所述流量测定部输出的信号的测定积分流量与目标积分流量一致。

2.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，

所述控制器包含：

计算部，所述计算部基于从所述流量测定部输出的信号而计算出所述测定积分流量；

比较部，所述比较部求出由所述计算部所计算出的所述测定积分流量与所述目标积分流量的差；以及

阀动作控制部，所述阀动作控制部在由所述比较部所求出的所述差处于规定范围内时开始所述控制阀的闭动作。

3.根据权利要求2所述的流量控制装置，其特征在于，

所述计算部对积分流量求和而计算出所述测定积分流量，所述积分流量是基于每经过一段时间从所述流量测定部输出的信号的流量而计算出的。

4.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，

所述流量测定部构成为：在每个规定期间输出流量值，

所述控制器包含：

计算部，所述计算部基于从所述流量测定部输出的流量值而计算出与所述规定期间的积分流量的总和对应的运算积分流量；

比较部，所述比较部求出所述目标积分流量减去已知积分流量的值与由所述计算部所计算出的所述运算积分流量的差；以及

阀动作控制部，所述阀动作控制部在由所述比较部所求出的所述差处于规定范围内时开始所述控制阀的闭动作。

5.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，

所述控制器包含：

差分计算部，所述差分计算部计算出输入的设定流量信号与从所述流量测定部输出的信号的差的总和即积分流量差；

判定部，所述判定部判定所述差分计算部的输出是否收敛到规定值或规定范围内；以及

阀动作控制部，在所述判定部判定为所述差分计算部的输出已收敛时，所述阀动作控制部开始所述控制阀的闭动作。

6.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，

所述测定积分流量包含：根据从所述流量测定部输出的信号求出的运算积分流量；以及将所述控制阀关闭后的流量下降期间的已知积分流量，

所述控制器构成为：在所述运算积分流量达到所述目标积分流量减去所述已知积分流量的值时，开始所述控制阀的关闭。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的流量控制装置，其特征在于，

所述流量测定部具备：节流部，所述节流部设置于所述控制阀的下游侧；以及压力传感器，所述压力传感器对所述控制阀与所述节流部之间的压力进行测定，所述流量测定部基于所述压力传感器的输出而对所述节流部的下游侧的流量进行测定。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的流量控制装置，其特征在于，

所述控制阀的关闭是通过一阶延迟控制而进行的。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的流量控制装置，其特征在于，

所述控制阀是常闭型的压电元件驱动式阀。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的流量控制装置，其特征在于，

矩形波的连续脉冲信号作为设定流量信号而被输入至所述控制器。

11.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，

所述控制器具有差分计算部，所述差分计算部在流量上升期间，计算出作为基于设定流量信号的内部指令信号的斜坡控制信号与从所述流量测定部输出的信号的差的总和，即积分流量差，基于所述差分计算部的输出，使所述斜坡控制信号的斜率在途中改变。