[发明专利]微尺度和中尺度冷凝器装置有效

专利信息
申请号: 201980008769.9 申请日: 2019-01-14
公开(公告)号: CN111615748B 公开(公告)日: 2023-08-29
发明(设计)人: B·旺施;J·史密斯;金圣哲;S·吉福德 申请(专利权)人: 国际商业机器公司
主分类号: H01L23/427 分类号: H01L23/427
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 马明月
地址: 美国纽*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 尺度 冷凝器 装置
【权利要求书】:

1.一种装置,包括:

包括多个柱体的冷凝器阵列,所述冷凝器阵列形成微通道,所述多个柱体布置成多个列,其中大于或等于0.5微米的柱体间隙位于所述多个列中的第一列中的所述多个柱体的第一柱体与所述第一列中的所述多个柱体的第二柱体之间,并且其中所述第一柱体邻近于所述第二柱体,并且其中在所述微通道的第一部分中的第一组柱体被配置为将流过所述冷凝器阵列的流体朝向所述微通道的第一侧侧向地移位,并且在所述微通道的第二部分中的第二组柱体被配置为将流过所述冷凝器阵列的流体朝向所述微通道的第二侧侧向地移位,其中所述第二侧与所述第一侧相对,并且所述第二部分在所述微通道的流动方向上在所述第一部分之后。

2.根据权利要求1所述的装置,其中,所述多个柱体限定晶格。

3.根据权利要求2所述的装置,其中第一比率小于或等于第一预定义值,所述第一比率由Dx/Dy表征,其中Dx表示在第一方向上跨越所述晶格的第一距离,其中Dy表示在第二方向上跨越所述晶格的第二距离,并且其中该第一方向正交于该第二方向。

4.根据权利要求3所述的装置,其中,第二比率大于第二预定义值,所述第二比率由D0/Dy表征,其中,D0表示所述多个柱体的直径。

5.根据权利要求4所述的装置,其中所述第一预定义值为1.0,并且其中所述第二预定义值为0.5。

6.根据权利要求4所述的装置,其中所述多个柱体进一步布置成多个行,并且其中所述晶格的边界由所述多个柱体的形状、所述多个列的相应中心线以及所述多个行的相应中心线限定。

7.根据权利要求6所述的装置,其中所述多个柱体限定多个晶格,并且其中所述晶格包含在所述多个晶格内。

8.根据权利要求7所述的装置,其中,所述晶格是所述第一组柱体的一部分并且沿第一侧向移位方向移位所述流体。

9.根据权利要求8所述的装置,其中所述多个晶格中的、作为所述第二组柱体的一部分的第二晶格在第二侧向移位方向上移位所述流体。

10.根据权利要求1所述的装置,其中所述柱体间隙是作为所述第一组柱体的一部分的第一柱体间隙,并且所述第二组柱体包括不同于所述第一柱体间隙的第二柱体间隙。

11.一种方法,包括:

在包括冷凝器阵列的微通道处接收流体,其中所述冷凝器阵列包括多个柱体;

经由所述微通道的第一部分中的第一组柱体将流过所述冷凝器阵列的流体朝向所述微通道的第一侧侧向地移位;

经由所述微通道的第二部分中的第二组柱体将流过所述冷凝器阵列的流体朝向所述微通道的第二侧侧向地移位,其中所述第二侧与所述第一侧相对,并且所述第二部分在所述微通道的流动方向上在所述第一部分之后;以及

以大于1.0纳升/小时的速率从所述微通道输出粒子。

12.根据权利要求11所述的方法,所述多个柱体限定了一个晶格。

13.根据权利要求11所述的方法,其中,所述接收包括:

接收样品流体和溶剂流体;以及,

其中将所述样品移入所述溶剂流体中。

14.根据权利要求12所述的方法,其中第一比率小于或等于第一预定义值,所述第一比率由Dx/Dy表征,其中Dx表示在第一方向上跨越所述晶格的第一距离,其中Dy表示在第二方向上跨越所述晶格的第二距离,并且其中所述第一方向正交于所述第二方向。

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