[发明专利]支承构件、导管支承装置以及具备该导管支承装置的处理装置

说明书

本发明的目的在于提供一种耐久性优异的支承构件、包括该支承构件的装置。本发明的支承构件包括弹性构件和形成于该弹性构件之上的多个块构件。该支承构件能从块构件的端面相互接触的形状变形为相互分离的形状。弹性构件包含通过固定于块构件的底面来限制变形的固定区域，支承构件包括抑制弹性构件的固定区域附近的位置处的屈曲的屈曲抑制单元。

技术领域

本发明涉及与导管一体化并对该导管进行支承的导管支承装置，例如涉及对装入于机械加工流水线、半导体制造装置、平板显示器等显示设备制造装置或者电子部件安装装置等各种处理装置的机器人行驶装置等中使用的导管进行支承的支承构件、导管支承装置以及具备该导管支承装置的处理装置。

背景技术

在机械加工流水线、半导体制造装置、显示设备制造装置、电子部件安装装置等各种处理装置中，装入有用于把持并输送加工料、晶圆、基板等工件的机器人行驶装置。机器人行驶装置中，在轨道上往复移动的行驶台车例如搭载有装卸工件的机器人。通过使该机器人的臂部的手部工作，能将工件把持于手部，将该工件拆装于各加工机械。

这样的机器人行驶装置的行驶台车连接有传递电能、电光等信号的缆线、输送气体或液体或者经由气体或液体传递压力的软管(以下，包括这些缆线和软管在内称为“导管”)。需要维持导管相对于反复进行往复移动从而其位置发生变化的行驶台车的稳定连接。因此，要用到通过将固定长度的导管弯曲成由相互对置的两个直线部和将这两个直线部相连的弯曲部形成的U字形来对该导管进行支承并根据行驶台车的位置使对置的直线部的长度变化来维持导管的稳定连接的导管支承装置。这样的支承装置在行驶台车的位置发生变化的过程中也能将导管的曲率半径保持在一定以上。由此，能确保导管的传递特性、输送性并且防止导管的破损。

专利文献1中记载有这样的能屈曲为U字型的导管支承装置。该专利文献1所记载的导管支承装置包括具备挠性材料和装配于该挠性材料的非联动固形物的支承构件。挠性材料例如由不锈钢、弹簧钢构成，非联动固形物例如由具有高耐压缩性的金属材料、树脂材料构成。该支承构件具有如下的结构：通过使非联动固形物相互接触来限制向某个方向的弯曲，另一方面，通过使非联动固形物相互分离而能向反方向弯曲。由此，能提供一种挠性高、机械噪声低、弯曲半径小、寿命长并且实质上不产生粒状物的支承构件。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第4157096号

发明内容

发明所要解决的问题

但是，本申请的发明人发现专利文献1所记载的导管支承构件存在如下的隐患：随着使用一定期间以上或者随着一定次数以上的往复运动，挠性材料会破损。如果在使用中挠性材料破损，则失去作为支承构件的功能，不仅不能适当地进行实施中的处理，而且存在导管破损而损害处理中的被处理物的品质或因扬尘等引起周边空气的污染等隐患。

本发明是鉴于上述这样的问题而完成的，其目的在于提供一种可靠性优异的导管支承构件、导管支承装置以及处理装置。

用于解决问题的方案

为了解决上述问题，本申请的方案所记载的支承构件具备：弹性构件，具有第一面，沿第一方向延伸；以及多个块构件，固定于所述弹性构件，分别具有与所述弹性构件的第一面对置的底面和与所述第一方向交叉的端面，所述支承构件的特征在于，所述支承构件能从所述多个块构件的所述端面彼此相接的第一形状变形为所述多个块构件的所述端面相互分离而所述支承构件向以所述弹性构件的第一面为外侧的方向弯曲的第二形状，所述弹性构件包含通过固定于所述块构件的底面来限制变形的第一区域，所述支承构件包括抑制所述弹性构件的所述第一区域附近的位置处的屈曲的发生的屈曲抑制单元。