[发明专利]化合物、树脂、组合物和图案形成方法

权利要求书

1.一种下述式(1)或(1’)所示的化合物，

式(1)中，

R^Y为氢原子、任选具有取代基和/或杂原子的碳数1～60的烷基、或任选具有取代基和/或杂原子的碳数6～60的芳基，

R^Z为任选具有取代基和/或杂原子的碳数1～60的N价的基团或单键，

或者，R^Y和R^Z任选包含它们所键合的碳原子在内地形成任选具有取代基和/或杂原子的四元环～三十元环，

A为任选具有取代基和/或杂原子的碳数1～60的体现芳香族性的基团，

R^T各自独立地为任选具有取代基和/或杂原子的碳数1～30的烷基、任选具有取代基和/或杂原子的碳数6～40的芳基、任选具有取代基和/或杂原子的碳数2～30的烯基、任选具有取代基和/或杂原子的碳数2～30的炔基、任选具有取代基和/或杂原子的碳数1～30的烷氧基、任选具有取代基和/或杂原子的碳数1～30的烷基硫基、卤素原子、硝基、氨基、氰基、羧酸基、巯基、羟基、或者巯基或羟基的氢原子被酸交联性基团或酸解离性基团所取代的基团，此处，所述烷基、所述烯基、所述炔基和所述芳基任选包含醚键、酮键或酯键，

X为氧原子、硫原子或为未桥接，

此处，

选自A、R^Y、R^Z、R^T和X中的至少1者包含硫原子，

R^T中的至少一者包含巯基、羟基、或者巯基或羟基的氢原子被酸交联性基团或酸解离性基团所取代的基团，

m各自独立地为0～9的整数，

N为1～4的整数，此处，N为2以上的整数的情况下，N个[]内的结构式任选相同或不同，

式(1’)中，

R^T各自独立地为任选具有取代基和/或杂原子的碳数1～30的烷基、任选具有取代基和/或杂原子的碳数6～40的芳基、任选具有取代基和/或杂原子的碳数2～30的烯基、任选具有取代基和/或杂原子的碳数2～30的炔基、任选具有取代基和/或杂原子的碳数1～30的烷氧基、任选具有取代基和/或杂原子的碳数1～30的烷基硫基、卤素原子、硝基、氨基、氰基、巯基、羟基、或者巯基或羟基的氢原子被酸交联性基团或酸解离性基团所取代的基团，此处，所述烷基、所述烯基、所述炔基和所述芳基任选包含醚键、酮键或酯键，

R⁰各自独立地为氢原子、任选具有取代基和/或杂原子的碳数1～30的烷基、或任选具有取代基和/或杂原子的碳数6～30的芳基，

或者，2个R⁰任选包含它们所键合的碳原子在内地形成任选具有取代基和/或杂原子的四元环～三十元环，2个R⁰为结合于它们所键合的碳原子上的双键，该双键任选键合任选具有取代基和/或杂原子的碳数1～30的烷基、或任选具有取代基和/或杂原子的碳数6～30的芳基，

A和A’为任选具有取代基和/或杂原子的碳数1～60的体现芳香族性的基团，

L为1～9的整数，

k和L’各自独立地为0～9的整数。

2.根据权利要求1所述的化合物，其中，所述式(1)所示的化合物为下述式(1-1)所示的化合物，

式(1-1)中，

R^Y、R^Z、A、X和N如权利要求1中所定义，

R^3A各自独立地为任选具有取代基的碳数1～30的烷基、任选具有取代基的碳数6～30的芳基、任选具有取代基的碳数2～30的烯基、任选具有取代基的碳数2～30的炔基、卤素原子、硝基、氨基、羧酸基或巯基，

R^4A各自独立地为氢原子、酸交联性基团或酸解离性基团，

此处，选自A、R^Y、R^Z、R^3A、R^4A和X中的至少1者包含硫原子，

m^6A各自独立地为0～5的整数，

m^7A各自独立地为0～5的整数，

其中，2个m^7A不同时为0。