[发明专利]光检测装置

权利要求书

1.一种光检测装置，其中，

包含：

雪崩光电二极管阵列基板，其二维排列有连接于淬灭电路的以盖革模式动作的多个雪崩光电二极管，且由化合物半导体构成；及

电路基板，其安装有所述雪崩光电二极管阵列基板，

所述电路基板包含与所述多个雪崩光电二极管对应地二维排列于该电路基板的多个时间测量电路、及对所述多个时间测量电路供给时钟信号的时钟驱动器，

各所述时间测量电路具有包含由串联连接的多个延迟元件构成的延迟线的延迟线部，且根据所述延迟线的动作结果，取得表示脉冲信号自对应的所述雪崩光电二极管输入到该时间测量电路的时机的时间信息，

所述延迟线部对应于自所述对应的雪崩光电二极管输出的所述脉冲信号输入到该时间测量电路而开始所述延迟线的动作，对应于来自所述时钟驱动器的所述时钟信号输入到该时间测量电路而停止所述延迟线的动作，

通过所述延迟线的动作，检测较所述时钟信号的周期短的时间间隔，

各所述时间测量电路还包含对所述时钟信号进行计数的计数器，根据所述计数器的动作结果及所述延迟线的动作结果，取得表示自所述对应的雪崩光电二极管输入脉冲信号的时机的时间信息，

所述计数器对应于所述延迟线的动作停止而开始动作，且与来自所述时钟驱动器的所述时钟信号同步地停止动作，

所述电路基板在每个所述时间测量电路包含存储器、及控制该时间测量电路的控制电路，

所述控制电路对应于重置信号输入到该控制电路而重置对应的所述时间测量电路，且对应于停止信号输入到该控制电路而停止所述时钟信号向所述计数器的输入，

所述重置信号及所述停止信号与所述时钟信号同步，

所述延迟线部将自所述重置信号输入到所述对应的时间测量电路后自所述对应的雪崩光电二极管输出的所述脉冲信号输入到该时间测量电路至来自所述时钟驱动器的所述时钟信号输入到该时间测量电路为止进行动作的所述延迟元件的数量存储于所述存储器，

所述计数器将自所述延迟线的动作停止至输入所述停止信号为止进行计数的所述时钟信号的数量存储于所述存储器。

2.如权利要求1所述的光检测装置，其中，

自所述雪崩光电二极管阵列基板的厚度方向观察，所述多个时间测量电路二维排列于与二维排列有所述多个雪崩光电二极管的光检测区域重叠的区域，所述时钟驱动器配置于不与所述光检测区域重叠的区域。

3.如权利要求1或2所述的光检测装置，其中，

所述淬灭电路是主动淬灭电路，且形成于所述电路基板。

4.如权利要求1或2所述的光检测装置，其中，

所述雪崩光电二极管阵列基板与所述电路基板通过凸块电极连接。

5.如权利要求3所述的光检测装置，其中，

所述雪崩光电二极管阵列基板与所述电路基板通过凸块电极连接。

6.如权利要求1或2所述的光检测装置，其中，

所述电路基板包含硅基板。

7.如权利要求3所述的光检测装置，其中，

所述电路基板包含硅基板。

8.如权利要求4所述的光检测装置，其中，

所述电路基板包含硅基板。

9.如权利要求5所述的光检测装置，其中，

所述电路基板包含硅基板。