[发明专利]电容元件及等离子体处理装置

说明书

提供一种电容元件及等离子体处理装置。在使用液体物质来作为电介质的电容元件中，防止静电电容变化。电容元件包括：收纳容器，具有将作为电介质的液体导入的导入端口及将所述液体导出的导出端口，且由所述液体来装满；以及至少一对电极，设置于所述收纳容器内且彼此相向，并且在所述收纳容器的上壁形成有用以将此收纳容器内的气泡排出的开口部。

技术领域

本发明涉及一种电容元件以及包括此电容元件的等离子体处理装置。

背景技术

作为电容元件，如专利文献1所示，有包括一对电极、以及介隔存在于这些电极之间的电介质，并且使用液体物质来作为所述电介质的电容元件。

然而，若使用液体物质来作为电介质，则有时会在构成电容元件的容器内流入气泡，或在容器内产生气泡，所述气泡卷入容器内所发生的漩涡而无法自容器中脱离。于是，气泡附着于电极而导致静电电容变化，产生损害可靠性的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2009-272354号公报

发明内容

发明所要解决的问题

因此，本发明是为了解决所述问题点而形成，其主要问题为在使用液体物质来作为电介质的电容元件中，防止静电电容变化。

解决问题的技术手段

即，本发明的电容元件包括：收纳容器，具有将作为电介质的液体导入的导入端口及将所述液体导出的导出端口，且由所述液体来装满；以及至少一对电极，设置于所述收纳容器内且彼此相向，并且所述电容元件的特征在于：在所述收纳容器的上壁形成用以将此收纳容器内的气泡排出的开口部。

若为如上所述的电容元件，则由于在收纳容器的上壁形成有用以将气泡排出的开口部，故而能够将流入至收纳容器内的气泡或在收纳容器内产生的气泡自开口部排出，能够防止静电电容变化。

优选为：所述开口部形成于比所述上壁中的外周部更靠内侧，且在所述上壁的内表面形成有气泡引导部，所述气泡引导部随着自所述上壁中的外周部朝向所述开口部而向上方倾斜，将气泡引导至所述开口部。

若为此结构，则在收纳容器内浮起的气泡由气泡引导部来引导至开口部，因此能够更确实地排出气泡。

所述气泡引导部优选为平面或曲面。

若为此结构，则气泡引导部不存在阶差，能够将气泡不滞留而引导至开口部。

此外，在如下结构中，即：所述导入端口形成于所述收纳容器的侧壁，且所述一对电极的其中一者具有固定于所述侧壁并且形成与所述导入端口连通的贯穿孔的凸缘构件、以及支撑于所述凸缘构件的电极板，若在导入端口与贯穿孔之间形成阶差，则在此阶差部分容易产生漩涡，气泡容易滞留于角部。

因此，在所述结构中为了防止气泡的滞留，优选为所述导入端口与所述贯穿孔的至少一部分无阶差地连通。

优选为在所述开口部连接有配管构件，且此配管构件连接于所述收纳容器的下游侧。

若为此结构，则开口部与收纳容器的下游侧的负压区域连通，故而能够使气泡与液体一起自开口部排出。

优选为在所述开口部或者将所述开口部与所述收纳容器的下游侧连接的流路设置阀。

若为此结构，则例如若使用开关阀来作为阀，则能够通过视需要适当地将开关阀打开而排出收纳容器内的气泡，或者若使用减压阀来作为阀，则在例如液体的流动停止的期间，即便在收纳容器内产生气泡，也能够在收纳容器内的压力达到一定以上的情况下，通过减压阀打开而自动地排出气泡。