[发明专利]用于产生和烧结细微线条和图案的方法和装置

权利要求书

1.一种用于选择性材料沉积的方法，包括：

将第一材料沉积于基底上；然后

通过一个或多个能量束以第一固化图案使所述第一材料选择性固化；然后

通过大面积光子曝光来推进非固化材料远离所述基底，在选时、能量及强度上受控以留下所述第一材料的固化的第一图案。

2.根据权利要求1所述的方法，包括：

在通过大面积光子曝光来推进所述非固化材料远离所述基底的步骤之前，通过一个或多个能量束以第二固化图案使所述第一材料选择性固化；其中，所述第二固化图案与所述固化的第一图案互补并建构成在被推进时破碎非固化材料。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述第二固化图案包括由连续线条、破断线条或点状线条形成的固化体。

4.根据权利要求2或3所述的方法，其中，所述固化的第一图案与所述第二固化图案之间的最小距离介于5与250微米之间。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的方法，其中，所述第二固化图案仅包括固化体，该固化体在远离所述第一图案的方向上以至少50微米的范围面对非固化物质。

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述第一固化图案包括具有凹口的边缘，以在推进非固化材料远离所述基底期间将被施加在所述边缘上的力平均化。

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述第一固化图案包括边缘部份及核心部份，其中，相对于所需的固化图案的核心部份而言，所述边缘部份曝光于所述一个或多个能量束更久，以加强所述边缘部份处的所述第一固化图案。

8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，进一步包括：在移除所述非固化材料的步骤之后，烧结所述第一材料的固化图案。

9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，通过多重的短能量脉冲进行所述大面积光子曝光。

10.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，通过闪光系统以3至50kW/cm²之间的能量密度产生所述大面积光子曝光。

11.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述第一材料被批量沉积。

12.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述第一材料利用非接触的沉积技术而被选择性沉积。

13.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述沉积技术为雾滴沉积技术。

14.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述能量束由具有300至1200纳米之间的波长的激光所产生。

15.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述一个或多个能量束由一个或多个可移动镜面被导引至所述基底。