[发明专利]超低温制冷机

权利要求书

1.一种超低温制冷机，其特征在于，具备：

压缩机；

膨胀机；

气体管路，其使工作气体在所述压缩机与所述膨胀机之间循环，所述气体管路具备：高压管路，从所述压缩机向所述膨胀机供给工作气体；及低压管路，将工作气体从所述膨胀机回收到所述压缩机；

旁通管路，其将所述高压管路连接于所述低压管路以使工作气体迂回所述膨胀机而从所述高压管路回流到所述低压管路；及

旁通流量控制部，其控制流过所述旁通管路的工作气体流量，从而提供所述气体管路的压力控制，

所述旁通管路具备：

可变流量旁路，其具备流量控制阀，并且所述可变流量旁路将所述高压管路连接于所述低压管路；及

固定流量旁路，其具备开闭阀，并且所述固定流量旁路将所述高压管路连接于所述低压管路且与所述可变流量旁路并联连接，

所述旁通流量控制部利用所述流量控制阀的开度调节和所述开闭阀的切换的组合来控制流过所述旁通管路的工作气体流量，

所述旁通流量控制部具备：压力比较部，其将所述气体管路的测定压力与目标压力进行比较；及阀控制部，其根据所述压力比较部的比较结果、所述流量控制阀的开度及所述开闭阀的开闭来控制所述流量控制阀及所述开闭阀。

2.根据权利要求1所述的超低温制冷机，其特征在于，

所述旁通管路构成为，在所述流量控制阀设为特定开度的状态下流过所述可变流量旁路的工作气体流量与所述开闭阀被打开的状态下流过所述固定流量旁路的工作气体流量相等，

所述阀控制部进行如下控制：

在所述气体管路的测定压力大于所述目标压力的情况下，若所述流量控制阀的开度小于所述特定开度，则所述阀控制部确定不让所述开闭阀切换开闭而使所述流量控制阀的开度在以所述特定开度作为上限的范围内增加规定量的所述流量控制阀的开度及所述开闭阀的开闭，

在所述气体管路的测定压力大于所述目标压力的情况下，若所述流量控制阀设为所述特定开度且所述开闭阀被关闭，则所述阀控制部确定使所述开闭阀切换为打开并且使所述流量控制阀的开度成为0％的所述流量控制阀的开度及所述开闭阀的开闭，

在所述气体管路的测定压力小于所述目标压力的情况下，若所述流量控制阀的开度大于0％，则所述阀控制部确定不让所述开闭阀切换开闭而使所述流量控制阀的开度减小规定量的所述流量控制阀的开度及所述开闭阀的开闭，

在所述气体管路的测定压力小于所述目标压力的情况下，若所述流量控制阀的开度设为0％且所述开闭阀被打开，则所述阀控制部确定使所述开闭阀切换为关闭并且使所述流量控制阀成为所述特定开度的所述流量控制阀的开度及所述开闭阀的开闭。

3.根据权利要求2所述的超低温制冷机，其特征在于，

所述特定开度是100％的开度。

4.根据权利要求2所述的超低温制冷机，其特征在于，

所述特定开度是小于100％的开度，

所述阀控制部进行如下控制：在所述气体管路的测定压力大于所述目标压力的情况下，若所述流量控制阀以所述特定开度打开且所述开闭阀被打开，则所述阀控制部确定不让所述开闭阀切换开闭而使所述流量控制阀的开度增加规定量的所述流量控制阀的开度及所述开闭阀的开闭。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的超低温制冷机，其特征在于，

所述压力比较部对所述高压管路的测定压力与所述目标压力进行比较。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的超低温制冷机，其特征在于，

所述压力比较部对所述高压管路与所述低压管路之间的测定压差与所述目标压力进行比较。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的超低温制冷机，其特征在于，

所述固定流量旁路具备多个子旁路，所述多个子旁路分别具备所述开闭阀，所述多个子旁路分别将所述高压管路连接于所述低压管路并与所述可变流量旁路并联连接。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的超低温制冷机，其特征在于，

所述流量控制阀是电动阀，所述开闭阀是电磁阀。