[发明专利]波长追踪系统、校准波长追踪系统的方法、光刻设备、确定可运动对象的绝对位置的方法、以及干涉仪系统

权利要求书

1.一种波长追踪系统，包括：

波长追踪单元，所述波长追踪单元具有处于固定位置的反射表面，所述波长追踪单元提供具备第一路径长度的第一反射路径和具备第二路径长度的第二反射路径，其中所述第一路径长度实质上比所述第二路径长度更长，和

干涉仪系统，其中所述干涉仪系统包括：

分束器，所述分束器用以将光束拆分成第一测量束和第二测量束，

至少一个光学元件，所述至少一个光学元件用以至少部分地沿所述第一反射路径引导所述第一测量束、以及至少部分地沿所述第二反射路径引导所述第二测量束，

第一光传感器，所述第一光传感器被布置在所述第一反射路径的端部处，以接收所述第一测量束并且基于所述第一测量束来提供第一传感器信号，

第二光传感器，所述第二光传感器被布置在所述第二反射路径的端部处，以接收所述第二测量束并且基于所述第二测量束来提供第二传感器信号，以及

处理单元，所述处理单元用以基于所述第一传感器信号和所述第二传感器信号来确定波长或波长的改变。

2.根据权利要求1所述的波长追踪系统，其中所述处理单元被布置成从所述第一传感器信号减去所述第二传感器信号以确定波长或波长的改变。

3.根据权利要求1或2所述的波长追踪系统，其中干涉仪系统包括用于提供所述光束的光束源，特别是激光束源。

4.根据前述权利要求中任一项所述的波长追踪系统，其中所述分束器是非偏振分束器。

5.根据前述权利要求中任一项所述的波长追踪系统，其中所述至少一个光学元件被布置成将所述第一测量束拆分成第一反射路径束和第一参考束，其中所述第一反射路径束被沿所述第一反射路径引导至所述第一光传感器，并且其中所述第一参考束被沿第一参考路径引导至所述第一光传感器，而没有被所述波长追踪单元的反射表面反射，并且

其中所述至少一个光学元件被布置成将所述第二测量束拆分成第二反射路径束和第二参考束，其中所述第二反射路径束被沿所述第二反射路径引导至所述第二光传感器，并且其中所述第二参考束被沿第二参考路径引导至所述第二光传感器，而没有被所述波长追踪单元的反射表面反射。

6.根据权利要求5所述的波长追踪系统，其中，所述至少一个光学元件包括：

偏振分束器，所述偏振分束器用以将所述第一测量束拆分成所述第一反射路径束和所述第一参考束，并将所述第二测量束拆分成所述第二反射路径束和所述第二参考束。

7.根据权利要求5或6所述的波长追踪系统，其中所述至少一个光学元件包括被布置在所述第一参考路径和所述第二参考路径中的一个或更多个参考反射镜。

8.根据前述权利要求中任一项所述的波长追踪系统，其中所述波长追踪系统包括第一测量平面和第二测量平面，其中所述第一测量平面平行于所述第二测量平面，其中所述光束源被布置在所述第一测量平面中，并且其中所述第一光传感器和所述第二光传感器被布置在所述第二测量平面中。

9.根据权利要求1至7和权利要求8中任一项所述的波长追踪系统，其中所述至少一个光学元件包括角锥棱镜，所述角锥棱镜用以将所述第一反射路径束、所述第一参考束、所述第二反射路径束和/或所述第二参考束从所述第一测量平面传输至所述第二测量平面。

10.根据前述权利要求中任一项所述的波长追踪系统，其中所述波长追踪单元包括至少一个波长追踪腔室，所述至少一个波长追踪腔室包括腔室开口，其中所述腔室包括被布置在所述第一反射路径中的一个或更多个第一反射路径反射表面，并且其中被布置在所述第二反射路径中的至少一个第二反射路径反射表面被设置成紧挨着所述腔室开口。

11.根据权利要求6、7、9所述的波长追踪系统，其中所述分束器、所述偏振分束器、所述一个或更多个参考反射镜、和所述角锥棱镜被设置在单个光学元件单元中。