[发明专利]用于修复衬底支撑件的系统、装置和方法

权利要求书

1.一种修复装置，配置成修改衬底支撑件的表面，所述修复装置包括修复表面，所述修复表面相对于所述衬底支撑件的表面是粗糙的，并且所述修复表面包括比所述衬底支撑件的材料更硬的材料。

2.根据权利要求1所述的修复装置，其中所述修复表面包括在Si材料的顶部上或在SiC材料的顶部上的金刚石沉积的颗粒结构。

3.根据权利要求1所述的修复装置，其中所述修复表面包括具有微米级硬突点的负载有金刚石的SiSiC涂层的顶层。

4.根据权利要求3所述的修复装置，其中所述突点的空间密度在1至3个/μm²的范围内，和/或所述突点之间的节距在1至10μm的范围内。

5.根据权利要求3所述的修复装置，其中所述突点具有小于0.5μm的曲率半径。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的修复装置，所述修复装置由至少两个部分构成，其中

第一部分包括所述修复表面，

第二部分包括清洁表面，所述清洁表面的材料的硬度低于所述修复表面的材料的硬度。

7.根据权利要求6所述的修复装置，其中所述清洁表面的所述材料包括花岗岩。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的修复装置，包括在表面中的开口以分配流体。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的修复装置，所述修复装置具有在标准生产期间使用的衬底的形状和尺寸。

10.一种用于修改衬底支撑件的表面的系统，所述系统包括根据权利要求1至9中任一项所述的修复装置。

11.一种用于修改衬底支撑件的表面的系统，所述系统包括根据权利要求8所述的修复装置，所述系统还包括

喷嘴，所述喷嘴用于将所述流体提供至根据权利要求8所述的装置，

所述流体的源，和

通道，所述通道将所述喷嘴连接至所述流体的源。

12.一种用于修改衬底支撑件的表面的方法，所述方法包括使用根据权利要求1至9中任一项所述的修复装置。

13.根据权利要求12所述的方法，包括以下步骤：使得所述修复装置的所述修复表面与从所述衬底支撑件延伸的多个突出部的顶部表面之间发生相互作用。

14.根据权利要求13所述的方法，其中所述相互作用是所述修复表面相对于从所述衬底支撑件延伸的多个突出部的所述顶部表面的移动。

15.根据权利要求14所述的方法，其中所述相互作用是压电引发的振动。

16.根据权利要求13所述的方法，其中所述相互作用是通过在所述修复表面与从所述衬底支撑件延伸的多个突出部的所述顶部表面之间施加夹持力。

17.根据权利要求13所述的方法，包括将流体供应至所述修复装置。