[发明专利]微型机械钟表部件

权利要求书

1.一种微型机械钟表部件（1、10、20、100、200），所述微型机械钟表部件是以板的形式在硅衬底中切出，并且所述微型机械钟表部件的切边包括用作接触表面的部分，所述接触表面设置成抵靠钟表中的另一微型机械部件的相应接触区滑动，并且其中所述切边具有肋状表面，所述肋状表面包括交替的肋（21a、21b、21c、121、221）和槽（23a、23b、23c、123、223），所述肋和所述槽是直的；其特征在于，所述肋和所述槽形成包括多个第一间距（25a、25b、25c、125、225）和至少一个第二间距（27a、27b、27c、127、227）的间隔图案，在该第一间距中，所述肋彼此分开的间隔等于第一距离，并且在该第二间距中，所述肋之间的间隔等于第二距离，所述第二距离不同于所述第一距离，所述第一距离在200nm至5µm之间。

2.根据权利要求1所述的微型机械钟表部件（1、10、20、100、200），其特征在于，所述第一距离在200nm至2µm之间。

3.根据权利要求1或2所述的微型机械钟表部件（1、10、20、100），其特征在于，所述肋和所述槽分别包含在平行于板的平面内。

4.根据权利要求1或2所述的微型机械钟表部件（200），其特征在于，所述肋和所述槽垂直于板的主平面。

5.根据权利要求1或2所述的微型机械钟表部件（1、10、20、100、200），其特征在于，所述第二距离大于所述第一距离。

6.根据权利要求1或2所述的微型机械钟表部件（1、10、20、100、200），其特征在于，属于所述第一间距（25a、25b、25c、125、225）的槽都具有相同的深度。

7.根据权利要求5所述的微型机械钟表部件（1、10、20、200），其特征在于，所述间隔图案包括多个第二间距（27a、27b、27c、227），并且所述第二距离在200nm至50µm之间。

8.根据权利要求7所述的微型机械钟表部件（1、10、20、200），其特征在于，属于该第二间距（27a、27b、27c、227）的槽都具有相同的深度，并且第二深度在10nm至10µm之间。

9.根据权利要求5所述的微型机械钟表部件（100），其特征在于，所述间隔图案包括具有单个槽（123）的单个第二间距（127），并且所述第二距离在200nm至所述部件的总高度的2/3之间。

10.根据权利要求9所述的微型机械钟表部件（100），其特征在于，该第二间距（127）的单个槽（123）的深度在10nm至50µm之间。

11.根据权利要求3所述的微型机械钟表部件（1、10、20、100），其特征在于，第一深度在10nm至2µm之间。