[发明专利]控制阀

说明书

公开了质量流量控制器和控制阀。控制阀包括提动头，该提动头包括多个竖直流动通道，该控制阀还包括孔口元件，该孔口元件包括从孔口元件的底面延伸通过孔口元件到达孔口元件的顶面的多个竖直流动通道。孔口元件的竖直流动通道在轴向上与提动头的竖直流动通道不对准，以防止当提动头的顶面与孔口元件的底面之间的间隙封闭时气体流过孔口元件。

技术领域

本发明涉及用于质量流量控制的系统和方法。特别地但非限制性地，本发明涉及质量流量控制器的阀。

背景技术

质量流量控制器可用于将流体(例如，气体)的质量流率调节到期望的位置。例如，一些质量流量控制器用于以非常低但精确的质量流率将处理气体输送到处理应用(例如等离子体处理)的环境中。

其它质量流量控制器用于调节高流率下的气体流，例如大于100标准升每分钟(SLM)的流率，但现有的质量流量控制器需要相对高的进气压力，并且需要大的阀门开度或跨度。当前需要在高流率和低入口压力下操作(例如，将气体输送到期望位置)的质量流量控制器。因此，现有的质量流量控制器均无法(或者效率很低)满足该要求。

发明内容

根据一方面，控制阀包括阀腔，所述阀腔包括入口和出口。提动头(poppet)布置在所述阀腔内，并且所述提动头包括多个竖直流动通道，并且所述提动头的底面面向所述入口。孔口元件布置在所述提动头和所述出口之间的所述阀腔内，所述孔口元件包括推杆槽，所述推杆槽允许推杆延伸穿过所述孔口元件并接触所述提动头，以允许所述推杆相对于所述孔口元件移动所述提动头，从而打开和封闭所述提动头的顶面与所述孔口元件的底面之间的间隙。所述孔口元件还包括多个竖直流动通道，所述多个竖直流动通道从所述孔口元件的底面延伸穿过所述孔口元件，到达所述孔口元件的顶面。所述孔口元件的竖直流动通道在轴向上与所述提动头的竖直流动通道不对准，以防止当所述提动头的顶面与所述孔口元件的底面之间的所述间隙封闭时气体流过所述孔口元件。

另一个方面的特征可以是一种控制阀，其包括阀腔，所述阀腔包括入口和出口。布置在所述阀腔内的提动头包括多个竖直流动通道，并且所述提动头的底面面向所述入口。布置在所述提动头和所述出口之间的所述阀腔内的孔口元件包括：用于使气体竖直和水平移动通过所述孔口元件的部件；用于使气体沿着所述孔口元件的顶面移动的部件；以及用于使所述提动头相对于所述孔口元件移动以打开和封闭所述提动头的顶面与所述孔口元件的底面之间的间隙以控制通过所述控制阀的气体流动的部件。

附图说明

[图1A]图1A是质量流量控制器的前剖视图。

[图1B]图1B是图1A的质量流量控制器的等角剖视图。

[图1C]图1C是图1A和图1B的质量流量控制器的阀部的分解等角图。

[图2A]图2A是孔口元件的第一实施方式的等角剖视图。

[图2B]图2B是图2A中绘示的孔口元件的俯视图。

[图2C]图2C是图2A和图2B中绘示的孔口元件的侧视图。

[图2D]图2D是图2A、图2B和图2C的孔口元件的仰视图。

[图2E]图2E是图2A至图2D中绘示的孔口元件的沿着图2C中所示的剖面F-F的剖视图。

[图3A]图3A是提动头的第一实施方式的等角图。

[图3B]图3B是图3A的提动头的等角剖视图。

[图3C]图3C是图3A和图3B中绘示的提动头的俯视图。

[图3D]图3D是图3A、图3B和图3C中绘示的提动头的侧视图。

[图3E]图3E是图3A、图3B、图3C和图3D中绘示的提动头的仰视图。