[发明专利]模具的制造方法有效
| 申请号： | 201980013917.6 | 申请日： | 2019-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN111741839B | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 西尾幸畅;池田贤元;谷边健志;山本和也 | 申请（专利权）人： | 纳卢克斯株式会社 |
| 主分类号： | B29C33/38 | 分类号： | B29C33/38;B29C33/42;G02B3/00;G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 崔成哲;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 模具 制造 方法 | ||
1.一种模具的制造方法，它是光学元件用的模具的制造方法，该光学元件包含使光线透过的第一部分和使光线不以原状态透过的第二部分，该模具的制造方法包括如下步骤：
通过抗蚀剂构图和蚀刻在衬底的表面的第一区域形成具有2微米以上的宽度的大致平坦的底面的与该第一部分对应的第一槽；以及
将该衬底的表面的包围该第一区域的第二区域机械加工成由与该底面不平行的面构成的形状，该形状是与该第二部分对应的形状，
与该第二部分对应的形状包含由与该底面不平行的面构成的周期性的结构。
2.根据权利要求1所述的模具的制造方法，其中，
该第一槽的深度为30微米以下，该第二区域的该形状的深度为20微米以下。
3.根据权利要求1所述的模具的制造方法，其中，
与该第二部分对应的形状是以长度方向成为大致相同的方向的方式排列的多个第二槽，与该多个第二槽的长度方向垂直的截面示出周期性的结构。
4.根据权利要求1所述的模具的制造方法，其中，
与该第二部分对应的形状与该光学元件的衍射光栅对应。
5.根据权利要求1所述的模具的制造方法，其中，
与该第二部分对应的形状与该光学元件的微棱镜阵列对应。
6.根据权利要求1所述的模具的制造方法，其中，
与该第二部分对应的形状与该光学元件的微透镜阵列对应。
7.根据权利要求1所述的模具的制造方法，其中，
通过拉切加工形成与该第二部分对应的形状。
8.根据权利要求1所述的模具的制造方法，其中，
使用金刚石切削工具形成与该第二部分对应的形状。
9.根据权利要求1所述的模具的制造方法，其中，
以1微米以下的圆角R形成该第一槽及与该第二部分对应的形状。
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