[发明专利]隔膜阀以及使用该隔膜阀的质量流量控制装置

权利要求书

1.一种隔膜阀，该隔膜阀具有：

膜片，其为圆形；

阀座，其由与所述膜片同轴状地配置的筒状构件构成，且供所述膜片落座的、具有环状形状的平面即座面形成于所述筒状构件的靠所述膜片侧的端面；

初级侧流路，其为位于所述阀座的外侧的空间；

次级侧流路，其为位于所述阀座的内侧的空间；及

按压构件，其构成为将所述膜片向靠近所述座面的方向按压，

所述膜片的外周部固定在相对于包含座面的平面即落座平面隔开规定距离的基准位置，

所述按压构件构成为：通过按压所述膜片，从而变更所述膜片与所述座面之间的距离，来变更阀门开度，其中，

该隔膜阀还具有支承构件，该支承构件构成为：在第1开度范围内与所述膜片相接触，从而阻碍所述膜片向所述次级侧流路侧的变形，该第1开度范围是所述隔膜阀的阀门开度的从全开至全闭的范围即整个开度范围中的至少一部分阀门开度范围，

所述支承构件构成为：在向所述落座平面的垂直投影图中，所述支承构件在所述第1开度范围内与所述膜片相接触的面即支承面位于所述座面的环状形状的中心即落座中心与所述座面之间的区域。

2.根据权利要求1所述的隔膜阀，其中，

所述支承面包含于所述落座平面。

3.根据权利要求1所述的隔膜阀，其中，

所述按压构件构成为：其至少与所述支承面相对的区域的表面即相对面位于与同所述座面相对的区域的表面相同的平面上，

所述支承构件构成为：

具有施力构件，该施力构件向所述按压构件侧对所述支承面施力，

利用所述施力构件的施力将所述膜片夹在所述支承面与所述相对面之间。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的隔膜阀，其中，

所述支承构件构成为：在向所述落座平面的垂直投影图中，在将所述座面的环状形状的外半径和内半径的平均值即平均半径设为r的情况下，所述支承面在所述座面的环状形状的径向上的中心位于距所述落座中心的距离为0.5r以上且为0.8r以下的区域。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的隔膜阀，其中，

所述支承构件由包含落座轴线的一个或两个以上的平板状构件构成，该落座轴线为在所述落座中心处与所述落座平面正交的轴线。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的隔膜阀，其中，

在向所述落座平面的垂直投影图中，所述支承面具有与所述座面同轴状地形成的环状形状。

7.根据权利要求6所述的隔膜阀，其中，

构成所述阀座的所述筒状构件由与所述膜片同轴状地配置的圆筒状构件和/或圆台筒状构件构成，

所述支承构件由与所述筒状构件同轴状地配置的圆筒状构件和/或圆台筒状构件构成，

在构成所述支承构件的所述圆筒状构件或所述圆台筒状构件的侧面形成有贯通孔。

8.一种质量流量控制装置，其中，

该质量流量控制装置具有：

流量传感器；及

权利要求1～7中任一项所述的隔膜阀。