[发明专利]电子显微镜以及测定试样的观察方法

权利要求书

1.电子显微镜，包括：

激光光源，生成CW激光；

辐照透镜系统，向测定试样照射所述CW激光；

能量分析器，按能量对利用所述CW激光从所述测定试样释放的光电子进行分离；

能量狭缝，使具有预定的所述能量的所述光电子通过；

电子束检测器，对通过所述能量狭缝的所述光电子进行检测；

第一电子透镜系统，使从所述测定试样释放的所述光电子会聚至所述能量分析器；以及

第二电子透镜系统，使通过所述能量狭缝的所述光电子投射至所述电子束检测器。

2.根据权利要求1所述的电子显微镜，所述CW激光的能量与所述测定试样的功函数之差为0eV至0.5eV。

3.根据权利要求1或2所述的电子显微镜，包括能量调整机构，所述能量调整机构向所述测定试样施加预定电压，调整所述光电子的所述能量。

4.根据权利要求3所述的电子显微镜，所述能量调整机构根据所述测定试样的状态密度确定施加至所述测定试样的预定电压。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的电子显微镜，包括电源，所述电源施加使所述光电子容易从所述测定试样释放的电压。

6.根据权利要求5所述的电子显微镜，所述电源使所述第一电子透镜系统带电为正电压，将在所述测定试样中产生的所述光电子引入至所述第一电子透镜系统。

7.测定试样的观察方法，包括：

照射步骤，向测定试样照射由激光光源生成的CW激光；

会聚步骤，将利用所述CW激光从所述测定试样释放的光电子会聚至能量分析器；

分离步骤，利用所述能量分析器按能量对所述光电子进行分离；

选择步骤，向能量狭缝照射经分离的所述光电子，选择具有预定的所述能量的所述光电子；

投射步骤，将通过所述能量狭缝的所述光电子投射至电子束检测器；以及

检测步骤，对投射至所述电子束检测器的所述光电子进行检测。

8.根据权利要求7所述的测定试样的观察方法，所述CW激光的能量与所述测定试样的功函数之差为0eV至0.5eV。

9.根据权利要求7或8所述的测定试样的观察方法，包括对所述测定试样施加电压的电压施加步骤，根据所述测定试样的状态密度确定所述电压。

10.根据权利要求7至9中的任一项所述的测定试样的观察方法，在所述会聚步骤中，向将所述光电子会聚至所述能量分析器的第一电子透镜系统施加正电压，将在所述测定试样中产生的所述光电子引入至所述第一电子透镜系统。