[发明专利]狭缝涂布机

说明书

本发明提供能够容易地切换狭缝间隙，并能够形成任意形状的涂膜的狭缝涂布机。狭缝涂布机1包括：缝模20，其具有固定模板24、能够相对于固定模板24向长度方向移动的可动模板21、以及被形成于固定模板24与可动模板21之间的接合面上的狭缝状喷嘴81；可动模板滑动机构23，其使可动模板21移动来变更狭缝状喷嘴81的狭缝长度；缝模滑动机构22，其使缝模20沿着主机架8滑动移动；以及平台驱动机构12，其对基板3进行运送，其中，在固定模板24及可动模板21上，分别可装卸地固定有规定狭缝状喷嘴81的狭缝间隙G大小的垫板76、71。

技术领域

本发明涉及一种狭缝涂布机。

背景技术

以往，有一种使用狭缝涂布法的狭缝涂布机已被普遍知晓，其是从狭缝状喷嘴将抗蚀剂、特殊膜材料或粘合剂等液体喷出至工件上后形成涂膜。这种使用狭缝涂布法的狭缝涂布机相比使用旋转涂布法的狭缝涂布机，具有较高的涂膜精度、较快的涂布速度，以及具有较高的液体(液剂)使用效率等特点，因此，其被作为涂膜形成装置来广泛使用。

在使用以往的狭缝涂布法的狭缝涂布机中，是在两片模板之间介入垫板以形成用于喷出液体的狭缝状喷嘴。虽然这种狭缝涂布机能够形成矩形的涂膜，但是却无法形成圆形等具有曲线部的涂膜，从而就期望一种能够形成具有曲线部的涂膜的狭缝涂布机。

在专利文献1中公开了一种能够形成矩形、圆形等具有曲线部的涂膜的狭缝涂布机，该狭缝涂布机具有：将两片模板(前唇构件及后唇构件)的落差部按照交互的方式接合以形成狭缝状喷嘴，并能够将两片模板彼此相对地移动来变更狭缝状喷嘴的长度(以下记载为狭缝长度)的构造。

此外，在专利文献2中公开了一种：在两片模板(室板及挡板)的长度方向上的两端设置垫板(密封构件)，由该垫板与两片模板来形成狭缝状喷嘴，并能够通过变更两片垫板间的距离来变更涂膜形成时的狭缝长度的构造。具有该构造的狭缝涂布机能够形成矩形、圆形等具有曲线的涂膜。

【先行技术文献】

【专利文献1】特开2004-313874号公报

【专利文献2】特开2018-69230号公报

然而，在专利文献1及专利文献2中记载的狭缝涂布机虽然能够变更狭缝长度，却难以自由地变更两片模板之间的接合部的间隙(称为狭缝间隙)。例如，在专利文献1中，狭缝间隙能够通过变更两片模板的形状(落差)来进行变更，而在专利文献2中，由于变更了垫板的厚度及构成，因此也就无法一起容易地变更狭缝间隙。在专利文献2中，由于在两片模板之间配设了垫片构件移动手段而成为复杂的构造，因此更换垫板就会变得尤为困难。此外，最好是根据喷出的液体的流动性(粘度)来适当地调整狭缝间隙。即，期望一种能够将狭缝间隙调整为对应喷出的液体的粘度与涂膜速度的狭缝涂布机。

此外，在专利文献2中记载的密封构件通过使两端具有左螺丝及右螺丝的共同的螺丝轴旋转，从而移动两片垫板来变更狭缝长度。由于两片垫板以相同的移动速度向相反方向移动，因此涂布宽度相对于中心基准线呈对称形。所以，就会有无法形成具有组合了直线与曲线的任意形状的涂膜的问题。

所以，为了解决上述问题，本发明的目的是提供一种狭缝涂布机，该狭缝涂布机能够在发挥以往的狭缝涂布法的特长的同时，易于对应喷出的液体的种类(粘度的差异)与喷出速度，并且，能够形成矩形、具有曲线或组合了直线与曲线的任意形状的涂膜。

发明内容